Semiconductor substrate and fabrication method of the semiconductor substrate, and semiconductor device
Номер патента: US20230369400A1
Опубликовано: 16-11-2023
Автор(ы): Makoto Takamura, Mitsuru Morimoto, Noriyuki Masago, Takayasu Oka, Takuji Maekawa
Принадлежит: ROHM CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-2023
Автор(ы): Makoto Takamura, Mitsuru Morimoto, Noriyuki Masago, Takayasu Oka, Takuji Maekawa
Принадлежит: ROHM CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of manufacturing silicon carbide semiconductor device
Номер патента: US20200295141A1. Автор: Keiji Okumura. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-17.