Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 2. Отображено 2.
24-08-2023 дата публикации

ULTRAPURE WATER PRODUCTION FACILITY

Номер: US20230264998A1
Автор: Eunhye PARK, Juhui PARK, Seyoon KIM, Jiyeon LEE
Принадлежит: Samsung Electronics Co., Ltd.

An ultrapure water manufacturing facility includes: a supply line connected to a pure water storage tank and in which a plurality of pure water treatment devices are sequentially arranged; a branch line branched downstream of the supply line and connected to the pure water storage tank; and a first automatic valve connected to the branch line and configured to be actuated by a double-acting actuator.

Подробнее
Номер записи: 1
28-09-2023 дата публикации

Ultrapure water supply apparatus, substrate processing system including the same, and substrate processing method using the same

Номер: US20230302502A1
Автор: Cheolmin SHIN, Jiyeon Lee, Jongha Yun, Juhui PARK, Seyoon KIM
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD

Ultrapure water supply apparatuses, substrate processing systems, and substrate processing methods are provided. An ultrapure water supply apparatus includes: a first supply device that produces first ultrapure water; a second supply device that produces second ultrapure water; a first reserved supply device that provides the second supply device with a portion of fluid in the first supply device; and a second reserved supply device that provides the first supply device with a portion of fluid in the second supply device. The first supply device includes a first front-side filtering part, a first rear-side filtering part, and a first connection part. The second supply device includes a second front-side filtering part, a second rear-side filtering part, and a second connection part. Each of the first and second reserved supply devices connects the first connection part and the second connection part to each other.

Подробнее
Номер записи: 2