Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 4. Отображено 2.
30-04-2020 дата публикации

METHOD AND DEVICE FOR IMPROVING EXPOSURE ACCURACY

Номер: US20200133138A1
Автор: Yuchang GUI, GUI YUCHANG, GUI, Yuchang
Принадлежит: Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd

A method and a device for improving exposure accuracy are provided. After an exposure area is defined on a substrate, a plurality of exposure points from the exposure area are acquired to obtain a set of the exposure points, and then a plurality of exposure offset values corresponding to the exposure points in the set of the exposure points are detected respectively, to obtain a set of the exposure offset values. Then, based on the set of the exposure offset values, the exposure points corresponding to each of the exposure offset values are corrected.

Подробнее
Номер записи: 1
09-07-2020 дата публикации

FOCUS COMPENSATION METHOD AND APPARATUS THEREOF

Номер: US20200218168A1
Автор: Yuchang GUI, GUI YUCHANG, GUI, Yuchang
Принадлежит: Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd

A focus compensation method and apparatus thereof are provided. The focusing compensation method includes steps of: (S 11 ) providing an exposure lens set; (S 12 ) providing an object, measuring line-widths of the object at points of line segments along an axial direction by different focusing conditions, to obtain measured values, and obtaining at least one line-width curve from the measured values; and (S 13 ) calibrating a focusing operation of the exposure lens set according to the at least one line-width curve. Line-widths of a product are measured, and fed back to an exposure machine to calibrate the focusing operations of the exposure machine, thereby improving the focusing accuracy of the exposure machine.

Подробнее
Номер записи: 2