Drehwinkel- oder Drehzahlgeber

Die Erfindung betrifft einen Drehwinkel- oder Drehzahlgeber gemäß der Gattung des ersten Patentanspruchs, wie er in vielfältigen technischen Gebieten zur berührungslosen Messung von Winkeln bzw. Drehzahlen zur Anwendung gelangt.
Der Erfindung am nächsten kommen dabei Bauformen, die sich zur betrags- und richtungsmäßigen Messung von Magnetfeldern magneto-resistiver Streifenleiter bedienen, die in Form einer Wheatstone-Brücke angeordnet sind (vgl. z. B. DD 2 56 628, DE 43 17 512). Üblicherweise sind dabei die zum Einsatz gelangenden magnetoresistiven Streifenleiter mit sogenannten Barberpolen versehen, wodurch die MR-Streifenleiter parallel zueinander anordenbar sind, wobei äußere elektromagnetische Störwirkungen reduziert werden.
Die Herstellung solcher Barberpole bedingt nicht nur einen zusätzlichen Kostenaufwand, sondern stellt auch nicht unerhebliche technologische Anforderungen bzgl. der Einhaltung identischer Eigenschaften der Pole untereinander.
Weiterhin ist bereits vorgeschlagen worden (Petersen, A.; "Sensoren zum Messen mechanischer Größen im Kfz", Veranstaltungsunterlage, Essen, 14. + 15.02.1995, Tagung Nr. E-30-212-074-5) zwei, zueinander versetzt angeordnete Wheatstone-Brücken, bei denen die detektierenden Streifenleiter aus magnetoresistivem Material gefertigt sind, zur genannten Meßaufgabe einzusetzen. Bei dieser vorgeschlagenen Ausführung sind die Streifenleiter, bezogen auf die Stromflußrichtung im Streifenleiter, zentralsymmetrisch zu einer Rotationsachse anzuordnen, die einer Rotationsachse eines über den Streifenleitern rotierbaren Permanentmagneten entspricht. Der Nachteil einer solchen Ausbildung besteht darin, daß zusätzlich benötigte elektrische Signale, die anderen Winkelanordnungen entsprechen, nur elektronisch unter Voraussetzung spezieller Annahmen erzeugt werden können.
In DE-AS 25 32 985 ist eine Vorrichtung beschrieben, die ein ständig anliegendes Hilfsmagnetfeld vorsieht, was für die Funktion der dortigen Vorrichtung notwendig ist. Dabei wird jeder der in DE-AS 25 32 985

vorgesehenen Sensoren (Wheatstonebrücken) dem Feld HB eines Permanentmagneten ausgesetzt, dessen Richtung an die Ausrichtung des Sensors gebunden ist. Dadurch entsteht ein hoher technischer Aufwand zur Erzeugung von HB, da jeder Brücke mit verschiedenen Parmanentmagneten ein eigenes HB aufgeprägt werden muß. Aus diesem Grund benötigen die vorgesehenen Wheatstonebrücken immer einen gewissen räumlichen Abstand voneinander, der zumindest größer sein muß, als die flächenmäßige Ausdehnung einer einzelnen Wheatstonebrücke. Desweiteren besteht bei dieser Lösung der Nachteil, daß das drehende Magnetfeld eine sehr hohe Homogenität aufweisen muß, damit überhaupt ein verwertbares Meßergebnis erzielt werden kann, was eine hinreichend große und damit teure Ausbildung des dortigen Permanentmagneten zur Folge hat. Desweiteren haftet DE-AS 25 32 985 der Nachteil an, daß, bedingt durch den dortigen Aufbau, sich das resultierende Magnetfeld sowohl im Betrag als auch in der Richtung ändert, woraus ein richtungsabhängiger Winkelfehler resultiert.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Drehwinkel- oder Drehzahlgeber bestehend aus einem um eine Achse rotierbaren Perma-

nentmagneten und mehreren Wheatstone-Brücken, die aus je vier magnetoresistiven Streifenleitern in Dünnschicht-ausführung gebildet sind, welche flächig in Ebenen, die parallel zur Rota-tionsebene des Permanentmagneten ausgerichtet sind, anzugeben, der relativ einfach herstellbar ist und Signale zur Winkeldetektion liefert, die elektronisch eindeutig erfaßbar und leicht auswertbar sind.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten Patentanspruchs gelöst. Durch die erfindungsgemäße Art der Anbringung der magnetoresistiven Streifenleiter in Gestalt einer Wheatstone-Brücke und die definierte Anordnung wenigstens dreier solcher Wheatstone-Brücken gelingt es, getrennte elektrische Signale, dieser, um einen definierten Winkel zueinander gedrehten Wheatstone-Brücken zu er-halten. Damit können einfach aufgebaute Baugruppen geschaffen werden, die nur geringe Anforderungen an die Justage und die Feldstärke des eingesetzten Magneten erfordern. Weitere vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.
Die Erfindung soll nachstehend anhand schematischer Ausführungsbei-spiele näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausfüh-rungsform gemäß vorliegender Erfindung mit drei koaxial verdreht zueinander angeordneten Wheatstone-Brücken,
Fig. 2 eine Ausführung gemäß Fig. 1 mit schematisch angedeuteter Außenbeschaltung und Mitteln zur Temperaturkompensation,
Fig. 3a einen seitlichen Querschnitt durch eine Ausführungsform gemäß der Erfindung, bei der eine Zusatzspule integriert ist,
Fig. 3b eine Draufsicht auf die Ausführung gemäß Fig. 3a und
Fig. 4 einen U(„)-Verlauf, wie er mit einem magneto-resistivem Streifenleiter erzielbar ist.




In Fig. 1 sind auf einem Substrat 1 , welches durch ein thermisch oxy-diertes Siliziumsubstrat gebildet sein kann, drei Wheatstone-Brücken 2 aufgebracht. Die jeweils eine Wheatstone-Brücke bildenden magneto-resistiven Streifenleiter 9 , vorteilhaft aus Permalloy bestehend, sind in ihrem Zusammenwirken für eine dieser Brücken fett dargestellt. Im Beispiel umfassen diese Streifenleiter 9 dabei jeweils ein Vieleck in Form eines Quadrats. Dabei ist es ausreichend, wenn sich jeder dieser Streifen-leiter 9 nur über einen Teil der Seiten des Quadrats erstreckt, was nicht näher dargestellt ist. Die ebenfalls, durch hier nicht näher dargestellte, gedacht durch das Quadrat gezogene Diagonalen gebildeten Schnittpunkte fallen in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Achse Z-Z zusammen, die die Rotationsachse eines Permanentmagneten 3 darstellt. (Eine nähere Darstellung genannten Vielecks und genannter Diagonalen, die keine vorrichtungsmäßigen Merkmale sind, sondern nur als konstruktive Hilfslinien dienen, ist in Fig. 2 in Form von Haarlinien vorgenommen.) Bei der Realisierung dieser Ausführungsform ist der Permanentmagnet 3 als Stabmagnet mit einer beispielhaften Länge von ca. 6 mm und einem Durchmesser von ca. 3 mm ausgebildet, welcher über den Wheatstone-Brücken 2 in einem Abstand von ca. 1 mm mittig drehbar gelagert ange-ordnet ist. Jede Wheatstone-Brücke 2 nimmt dabei eine Fläche von ca. 1 mm² ein. Wesentlich im Rahmen der Erfindung ist, daß jeweils zwei benachbart angeordnete Streifenleiter 9 und 9 ' zu einer Halbbrücke elek-trisch verschaltet sind; vorteilhaft schließen diese Brückenschenkel 9 und 9 ' dabei einen Winkel von 90º ein.
Alle drei Wheatstone-Brücken können dabei in ihren geometrischen und/oder elektrischen Dimensionierung identisch, als auch voneinander abweichend ausgebildet sein. So wäre es bei vorliegen-dem Ausführungsbeispiel möglich, die Wheatstone-Brücken so zu struk-turieren, daß von innen nach außen die jeweils nächste Brücke die vor-hergehende umfaßt, wobei, wie im Beispiel, die Brücken untereinander um jeweils 30º verdreht angeordnet sind. Bei dem der Erfindung zugrun-deliegenden Meßprinzip ist, bei allen denkbaren und im weiteren noch zu beschreibenden Ausführungsformen, allerdings wesentlich, daß das jeweilige Layout der Wheatstone-Brücken und die Dimensionierung des

Permanentmagneten 3 so gewählt werden, daß alle Wheatstone-Brücken vom Feld des Permanentmagneten 3 in gleicher Weise während dessen Rotation gleichmäßig so erfaßbar sind, daß die magnetoresistiven Streifenleiter magnetisch gesättigt werden.
Die einzelnen Wheatstone-Brücken können gleichmäßig gegeneinander verdreht und in einem Winkel von 120º um die Achse Z-Z verteilt angeordnet sein. Diese Verteilung ist eine besonders vorteilhafte Ausbildung zur Schaffung eines Drehwinkel- oder Drehzahlgebers, der einen Arbeitsbereich von 360º erfassen soll, jedoch ist diese Maßgabe nicht beschränkend.
Sind beispielsweise Winkelgebervorrichtungen zu schaffen, die nur einen kleineren Winkel-bereich erfassen sollen, dann können mit der Maßgabe einer Wheatstone-Brückenanzahl n, mit n „ 3, andere Verdrehungswinkel der Brücken untereinander entsprechend (90 - ß)º/n, wobei 0º < ß „ 60º ist, festge-legt sein.
In Fig. 2 ist in Draufsicht eine Ausführung gemäß Fig. 1 mit schema-tisch angedeuteter Außenbeschaltung und Mitteln zur Temperatur-kompensation dargestellt. Aus Gründen der Übersichtlichkeit wurde auf die detaillierte Darstellung von rein elektrischen Verschaltungsmitteln verzichtet. Die Streifenleiter 9 , die zu je einer Wheatstone-Brücke 21 , 22 , 23 verschaltet sind, sind mit unterschiedlichen Schraffierungen dargestellt. Mittels einer ebenfalls auf dem Substrat 1 integrierbaren elektronischen Schaltung 5 , die bspw. als kundenspezifischer Schaltkreis ausgebildet sein kann, ist neben einer Auswertung der Signale der einzelnen Wheatstone-Brücken 21 , 22 , 23 , die bei Rotation des Permanentmagneten 3 entstehen, auch eine zyklische Vertauschung der jeweiligen Wheatstone-Brücken-abgriffe realisierbar. Desweiteren kann vorteilhaft ein weiterer magneto-resistiver Streifenleiter 4 zur Temperaturkompensation auf dem Substrat 1 vorgesehen sein. Die jeweiligen Verschaltungen aller Baugruppen erfol-gen im übrigen über schematisch angedeutete Zuleitungen 6 .




Die bisher beschriebenen Anordnungen ermöglichen eine eineindeutige Zuordnung der Meßsignale in einem Winkelbereich von 0º bis 180º. Durch die Einwirkung eines Zusatzfeldes kann der eineindeutig zuorden-bare Winkelbereich auf 0º bis 360º erweitert werden.
Entsprechend der Darstellung in den Fig. 3a (seitlicher Querschnitt) und 3b (Draufsicht auf 3a) ist, getrennt durch entsprechende Isolator-schichten 8 , wenigstens eine Zusatzfeldspule 7 derart integrierbar, daß sie alle Wheatstone-Brücken 2 umfaßt. Diese Zusatzfeldspule 7 ist entweder mit einem Wechselstrom oder mit Stromimpulsen zu definiert vorgeb-baren Zeitpunkten beaufschlagbar. Die Dimensionierung bzw. Strom-beaufschlagung der Zusatzfeldspule soll gemäß der Erfindung so festge-legt sein, daß das auf die MR-Streifenleiter der Wheatstone-Brücken einwirkende magnetische Feld in der Größenordnung von einem Zwan-zigstel bis zur Hälfte der Feldstärke des Permanentmagneten 3 beträgt.
Ebenso liegt es natürlich im Rahmen der Erfindung, genannte Zusatzfeld-spule durch zwei, jeweils in unterschiedlichen Ebenen angeordnete spiral-förmige Spulen mit geeignetem magnetischen Wickelsinn auszubilden, was bezüglich deren mikrolithografischer Strukturierung vorteilhaft ist.
Durch das, durch genannte Zusatzfeldspule, erzeugte zusätzliche magne-tische Feld, ist die Magnetisierungsrichtung in den MR-Streifenleitern 9 , die im wesentlichen durch die jeweilige Stellung des Permanentmagneten 3 bestimmt wird, um einen gewissen meßbaren Betrag zusätzlich ablenk-bar, das Vorzeichen der Signaländerung, die durch das Zusatzfeld erzeugt wird, enthält die Information über die Richtung des Permanentmagneten 3 .
In Fig. 4 ist schließlich ein U(„)-Verlauf über eine halbe Periode darge-stellt, wie er mit einer speziellen Ausbildung der zum Einsatz gelangenden MR-Streifenleiter 9 erzielbar ist. Die Ausbildung der MR-Streifenleiter erfolgt dabei, mit der Maßgabe, daß das Feld des Permanentmagneten, das auf die Wheatstone-Brücken einwirkt ein 3 bis 6faches des Anisotropiefeldes der Streifenleiter beträgt, wobei den Streifenleitern ein Länge/Breiten-Verhältnis von größer 10 : 1, bei einer Breite unterhalb 4 µm und einer Dicke in der Größenordnung größer gleich 20 nm, gegeben ist. In Fig. 5 ist dabei deutlich erkennbar, daß ein

reines Sinussignal, welches strichpunktiert dargestellt ist und bspw. bei gleichem Feld des Permanentmagneten und einer Streifenleiterbreite von ca. 10 µm erhalten wird, lediglich zwischen den Punkten B und C einen linearen Verlauf aufweist, wohingegen gemäß Anspruch 12 vorliegender Erfindung ausgebildete Streifenleiter zwischen den Punkten A und D einen wesentlich größeren linearen Bereich zeigen, was sich besonders vorteilhaft bei der Signalverarbeitung und -auswertung auswirkt.
Alle Ausführungen erfindungsgemäßen Drehwinkel- oder Drehzahlgebers sind für eine sehr schnelle Detektion bis in hohe Frequenzbereiche, z. B. in der Größenordnung von 10 MHz, anwendbar.
Es ist möglich, ohne daß dies näher darge-stellt ist, jeder zum Einsatz gelangenden Wheatstone-Brücke jeweils mindestens eine Widerstandsabgleichfläche zuzuordnen, was im Rahmen von Mikrostrukturierungstechniken problemlos realisierbar ist.
Weiterhin ist es möglich, jeden einzelnen MR-Streifenleiter 9 durch Hintereinanderschaltung mehrerer, ggf. unterschied-lich langer, zueinander parallel verlaufender MR-Streifenleiter auszubil-den. Mit Hilfe diese Maßgabe gelingt es, den auf dem Substrat zur Verfü-gung stehenden Platz effektiv auszunutzen. Sämtliche sonstigen Maß-gaben der Erfindung bleiben bei einer derartigen Ausbildung der MR-Streifenleiter weiterhin bestehen.





Bezugszeichenliste

1 Substrat2 Wheatstone-Brücken3 Permanentmagnet4 MR-Streifenleiter zur Temperaturkompensation5 Auswerteelektronik6 Zuleitungen (schematisch)7 Zusatzfeldspule8 Isolatorschicht9 , 9' MR-StreifenleiterZ-Z Rotationsachse