アモルフアスシリコン感光膜の製造方法及び装置

01-03-1986 дата публикации
Номер:
JPS6142662A
Автор: Nobuhiko Fujita, Saburo Tanaka, Shoji Nakagama, 三郎 田中, 藤田　順彦, 詳治 中釜
Принадлежит: Sumitomo Electric Industries Ltd
Контакты:
Номер заявки:
Дата заявки:







CPC - классификация

GG0G03G03GG03G5G03G5/G03G5/0G03G5/08G03G5/082G03G5/0821G03G5/08214

IPC - классификация

GG0G03G03GG03G5G03G5/G03G5/0G03G5/08G03G5/082G03G5/087