System method and apparatus for selecting and controlling light source bandwidth

21-12-2013 дата публикации

Номер:

TWI420153B

Автор: Efrain Figueroa, William N Partlo, John Martin Algots, FIGUEROA EFRAIN, PARTLO WILLIAM N, ALGOTS JOHN MARTIN, FIGUEROA, EFRAIN, PARTLO, WILLIAM N., ALGOTS, JOHN MARTIN

Принадлежит: Cymer Inc, CYMER INC, CYMER, INC.

Контакты:

Номер заявки: 42-61-9813

Дата заявки: 26-10-2009

CPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J2 G01J20 G01J200 G01J2003 G01J2003/G01J2003/1 G01J2003/12 G01J2003/120 G01J2003/1208 G01J3 G01J3/G01J3/0 G01J3/02 G01J3/023 G01J3/0237 G01J3/027 G01J3/06 G01J3/1 G01J3/14 G01J3/18 G02 G02B G02B5 G02B5/G02B5/1 G02B5/18 G02B5/182 G02B5/1828 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/0 H01S3/08 H01S3/080 H01S3/0800 H01S3/08004 H01S3/08009 H01S3/1 H01S3/10 H01S3/105 H01S3/1055 H01S3/106 H01S3/1067

IPC - классификация

G G0 G02 G02B G02B2 G02B27 G02B27/G02B27/4 G02B27/44

Получить PDF