實質上由鋅、錫及氧形成的氧化物的蝕刻液及蝕刻方法

01-07-2018 дата публикации

Номер:

TWI628264B

Автор: 茂田麻里, 夕部邦夫, SHIGETA MARI, YUBE KUNIO, SHIGETA, MARI, YUBE, KUNIO

Принадлежит: 三菱瓦斯化學股份有限公司, MITSUBISHI GAS CHEMICAL CO, MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.

Контакты:

Номер заявки: 26-37-10311

Дата заявки: 28-10-2014

CPC - классификация

C C0 C09 C09K C09K1 C09K13 C09K13/C09K13/0 C09K13/04 C09K13/06 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/306 H01L21/3060 H01L21/30604 H01L21/4 H01L21/46 H01L21/465 H01L29 H01L29/H01L29/6 H01L29/66 H01L29/669 H01L29/6696 H01L29/66969 H01L29/7 H01L29/78 H01L29/786 H01L29/7869 H1 H10 H10D H10D3 H10D30 H10D30/H10D30/6 H10D30/67 H10D30/675 H10D30/6755 H10D9 H10D99 H10D99/H10D99/0 H10D99/00

IPC - классификация

C C0 C09 C09K C09K1 C09K13 C09K13/C09K13/0 C09K13/04 C09K13/06 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/30 H01L21/306 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213

Получить PDF