MEMS pressure sensor with thermal compensation

05-09-2017 дата публикации

Номер:

US09751750B2

Автор: Guangcai Fu, Xianming Zhang

Принадлежит: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B81 B81B B81B2 B81B22 B81B220 B81B2201 B81B2201/B81B2201/0 B81B2201/02 B81B2201/026 B81B2201/0264 B81B3 B81B3/B81B3/0 B81B3/00 B81B3/008 B81B3/0081 G G0 G01 G01L G01L1 G01L19 G01L19/G01L19/0 G01L19/04 G01L9 G01L9/G01L9/0 G01L9/00 G01L9/004 G01L9/0047 G01L9/0048 G01L9/005 G01L9/007 G01L9/0073

IPC - классификация

G G0 G01 G01L G01L1 G01L19 G01L19/G01L19/0 G01L19/04 G01L9 G01L9/G01L9/1 G01L9/10 G01L9/14

Получить PDF