Apparatus and method of detecting temperature and apparatus for processing substrate

25-09-2014 дата публикации

Номер:

US20140284316A1

Автор: Sang Hyun Ji

Принадлежит: AP SYSTEMS INC

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J5 G01J5/G01J5/0 G01J5/00 G01J5/000 G01J5/0007 G01J5/02 G01J5/028 G01J5/0285 G01J5/06 G01J5/068 G01J5/6 G01J5/60 G01J5/602 G01J5/8 G01J5/80 G01K G01K1 G01K1/G01K1/2 G01K1/20

IPC - классификация

G G0 G01 G01J G01J5 G01J5/G01J5/6 G01J5/60 G01J5/8 G01J5/80 H H0 H04 H04N H04N5 H04N5/H04N5/3 H04N5/33

Получить PDF