Method for producing dry etching gas

22-10-2015 дата публикации

Номер:

US20150299088A1

Автор: Kanako FUKUMOTO, Masato NAITOU, Shingo Nakamura, Tatsuya Ohtsuka, Yuusuke ETOU

Принадлежит: Daikin Industries Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07B C07B6 C07B61 C07B61/C07B61/0 C07B61/00 C07C C07C1 C07C17 C07C17/C07C17/3 C07C17/36 C07C17/361 C07C17/38 C07C17/383 C07C19 C07C19/C07C19/0 C07C19/08 C07C4 C07C41 C07C41/C07C41/0 C07C41/06 C07C5 C07C51 C07C51/C07C51/5 C07C51/58 C07C51/6 C07C51/64 C07C53 C07C53/C07C53/5 C07C53/50

IPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C1 C07C17 C07C17/C07C17/3 C07C17/38 C07C17/383 C07C5 C07C53 C07C53/C07C53/5 C07C53/50

Получить PDF