Plasma-enhanced molybdenum deposition

04-07-2024 дата публикации

Номер:

US20240218502A1

Автор: Ashutosh Agarwal, Mandyam Sriram, Srinivas Gandikota, Tuerxun Ailihumaer, Yixiong Yang, Yogesh Sharma

Принадлежит: Applied Materials Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/0 C23C16/04 C23C16/045 C23C16/1 C23C16/14 C23C16/16 C23C16/18 C23C16/4 C23C16/45 C23C16/455 C23C16/4553 C23C16/45536 C23C16/4555 C23C16/45553 C23C16/5 C23C16/51 C23C16/511 C23C16/56 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/33 H01J2237/332 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/323 H01J37/3235 H01J37/32357 H01J37/328 H01J37/3281 H01J37/32816

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/1 C23C16/16 C23C16/18 C23C16/5 C23C16/56

Получить PDF