MEMS device and method of reducing stiction in a MEMS device

08-12-2009 дата публикации

Номер:

US7628072B2

Автор: Andrew C. McNeil, Daniel N. Koury, Jr.

Принадлежит: FREESCALE SEMICONDUCTOR INC

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B81 B81B B81B3 B81B3/B81B3/0 B81B3/00 B81B3/001 G G0 G01 G01P G01P1 G01P15 G01P15/G01P15/0 G01P15/08 G01P15/080 G01P15/0802 G01P15/1 G01P15/12 G01P15/125 G01P2 G01P20 G01P201 G01P2015 G01P2015/G01P2015/0 G01P2015/08 G01P2015/081 G01P2015/0814

IPC - классификация

G G0 G01 G01C G01C1 G01C19 G01C19/G01C19/5 G01C19/57 G01C19/573 G01C19/5733 G01P G01P1 G01P15 G01P15/G01P15/1 G01P15/12 G01P15/125 G01P15/18

Получить PDF