Aqueous polishing agent comprising solid polymer particles and two complexing agents and its use in a process for polishing patterned and unstructured metal surfaces

10-06-2014 дата публикации

Номер:

US8747687B2

Автор: Ilshat Gubaydullin, Mario Brands, Vijay Immanuel Raman, Yongqing Lan, Yuzhuo Li

Принадлежит: BASF SE

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02 C09K C09K3 C09K3/C09K3/1 C09K3/14 C09K3/146 C09K3/1463 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/00 C23F3/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

Получить PDF