SELF-CALIBRATING LASER TRACKER AND SELF-CALIBRATION METHOD

Selbstkalibrierender Lasertracker und

Selbstkalibrierungsverfahren

Die vorliegende Erfindung betrifft einen selbstkali^¬ brierenden Lasertracker zur Bestimmung von Koordinaten von Raumpunkten nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Der Lasertracker weist einen stationären Teil mit einer Basis, einen gegenüber der Basis um eine Vertikalachse rotierbaren Teil und einer zusammen mit dem rotierbaren Teil drehbaren Strahllenkeinheit sowie eine Laserlichtquelle zur Bereit- Stellung eines durch die Strahllenkeinheit auszusendenden Laserstrahls mit einer Zielachse und einer Einstrahlungs^¬ richtung auf einen anzuzielenden Zielpunkt oder Reflektor auf .

Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Selbstkali- brierungsverfahren für einen Lasertracker nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10.

Lasertracker gehören als Koordinatenmessgeräte zu einer Art von Messgeräten, die die Koordinaten eines (Raum- ) Punkts durch Aussendung eines Laserstrahls auf den Punkt messen. Der Laserstrahl mag direkt auf dem Punkt auftreffen oder auf einen Retroreflektor (häufig Würfeleckenprisma oder „Corner Cube" oder Anordnung mit drei senkrecht zueinander orientierten Spiegeln) der zu dem Punkt in Kontakt steht. Im Falle eines Retroreflektors wird der darauf auftreffende Laserstrahl „in sich", d. h. koaxial zum emittierten Laserstrahl reflektiert, wenn dieser genau auf dem Zentrum des Retroreflektors auftrifft. Andernfalls, wenn der ausge^¬ sandte Laserstrahl auf dem Retroreflektor ausserhalb dessen Zentrums auftrifft, weist der reflektierte Laserstrahl einen parallelen Versatz zum ausgesandten Laserstrahl auf. Typischerweise bestimmt das Gerät die Koordinaten des Punkts durch Messung der Distanz des Punktes vom Messgerät und zweier Winkel mittels zu Drehachsen des Lasertrackers zugeordneten Winkelencodern bzw. Winkelgebern zwischen einer Standardausrichtung des Laserstrahls bezüglich seiner Anzielrichtung zu dem auszumessenden Punkt. Die Distanz wird mit einer Distanz-Messvorrichtung, wie beispielsweise einem absoluten Distanzmesser und/oder einem Interfero- meter, gemessen. Beispielhafte Systeme zur Bestimmung von Koordinaten eines Punkts sind offenbart in der US 4,790,651 und der US 4, 714, 339.

Lasertracker sind eine spezielle Art von Koordinatenmess- geräten, mit denen ein, insbesondere sich bewegender, Zielpunkt, insbesondere ausgebildet als ein Retroreflektor, mittels eines oder mehrerer, insbesondere fokussierter, Laserstrahlen verfolgt wird.

Für einen zuverlässigen, im Messergebnis reproduzierbaren, Einsatz von Lasertrackern ist die Einstellung und Anwendung von Kalibrierungsparametern erforderlich. Kalibrierungs- parameter werden typischerweise als numerische Werte in Form von Software oder Firmware in für die Lasertracker- Steuerung zugänglicher Weise gespeichert und dienen, angewendet auf die Rohmessdaten des Lasertrackers, der Ver^¬ besserung der Messgenauigkeit. Typischerweise werden beim Hersteller des Lasertrackers sogenannte Kalibrierungs-Mess- verfahren zur Bestimmung der Kalibrierungsparameter durchgeführt, und die entsprechenden Kalibrierungsparameter werden mit der Steuerungssoftware gespeichert. Geräteseitig werden üblicherweise ausserdem mit der Steuerung gewisse Toleranzen festgelegt, wie weit aktuelle Kalibrierungs^¬ parameter von vorher gespeicherten Kalibrierungsparametern abweichen dürfen. Zur Bestimmung von Änderungen der Geräte- kalibrierung werden typischerweise in bestimmten Intervallen und/oder beim Einschalten des Lasertrackers Kontroll-Kalibrierungsmessungen durchgeführt .

Änderungen der erforderlichen Gerätekalibrierung beruhen insbesondere auf thermischen Drift-Effekten, aber auch beispielsweise auf mechanischen Erschütterungen.

In der EP 1 420 264 werden ein Lasertracker und ein damit ausführbares Messverfahren mit Kalibrierungsvorrichtungen und -Vorschriften offenbart. Beschrieben wird ein Mess- System, das ein Messgerät mit einem Lasertracker und einen optoelektronischen Sensor in relativ zueinander unveränderbaren Positionen, einen Systemrechner und ein separates, d. h. entfernt vom Lasertracker anzuordnendes, Messhilfs^¬ instrument mit einem Reflektor und mindestens drei Licht- punkten aufweist. Der Lasertracker wird mittels der nachfolgend beschriebenen Verfahrensschritte kalibriert: Das Messhilfsinstrument wird mit einer Anordnung von Hilfs^¬ reflektoren starr verbunden und um mindestens zwei relativ zum Messhilfsinstrument voneinander verschiedene Drehachsen bewegt. In mindestens je zwei Drehpositionen um jede der mindestens zwei Drehachsen werden durch den Lasertracker Reflektor und Hilfsreflektoren angezielt und durch den optoelektronischen Sensor die Lichtpunkte auftreffenden Laserlichts registriert. Aus den Messdaten des Laser- trackers werden Positionen und Orientierungen der Reflektoranordnung relativ zum Lasertracker und aus den Messdaten des optoelektronischen Sensors Positionen und Orientierungen der Lichtpunktanordnung relativ zum optoelektronischen Sensor bestimmt und daraus die mindestens zwei Drehachsen relativ zur Reflektoranordnung bzw. zur Lichtpunktanordnung berechnet. Dann werden aus den ermittelten Messdaten die Kalibrierungsdaten errechnet. Diese Systemanordnung und die damit verbundene Kali^¬ brierungsmethode entsprechen nicht der Anordnung und nicht den typischerweise gesetzten Spezifikationen eines Laser- trackers gemäss der vorliegenden Erfindung und insbesondere auch nicht heutigen Anforderungen an ein derartiges Messsystem.

Insbesondere nachteilig ist das Messhilfsinstrument für die Kalibrierung ausserhalb des Vermessungsgeräts bzw. Laser- trackers angeordnet, was Anforderungen an heutige Laser- tracker für eine möglichst vollständige, kompakt angeord^¬ nete Integration bzw. Verbindung mit dem Messgerät nicht erfüllt, und aus der EP 1 420 264 ist kein Selbstkalibrie^¬ rungsverfahren mit automatisch ablaufenden, gerätegesteuerten Verfahrensschritten ohne Involvierung eines Be- dieners zu entnehmen.

In der US 2009/0109426 und der WO 2005/026772 wird ein selbstkalibrierender Lasertracker mit einem Laser zur Aussendung eines Laserstrahls, einem Planspiegel und min^¬ destens zwei integrierten unbeweglichen, reflektierenden Vorrichtungen sowie einem rotierbaren Spiegel und einem positionssensitiven Detektor offenbart. Eine der mindestens zwei unbeweglichen, reflektierenden Vorrichtungen ist als ein Corner-Cube-Retroreflektor und eine zweite als ein Planspiegel ausgebildet. Der Corner-Cube-Retroreflektor und der Planspiegel können an einem stationären Teil des Messsystems in Position fixiert sein und sind ausgebildet, um den Laserstrahl nach einem Zweilagen-Messverfahren, d. h. in einem „Vorderseiten-,, und einem „Rückseiten-Modus", zu reflektieren. Dabei entsprechen der „Vorderseiten-Modus" der Ausrichtung des Lasertrackers gemäss einer regulären Zielverfolgung und der „Rückseiten-Modus" einer entgegengesetzten Ausrichtung des Lasertrackers. Gemäss der in der US 2009/0109426 und der WO 2005/026772 offenbarten Anordnungen werden Messwerte von am Gerät angeordneten Temperatursensoren verwendet, um eine Temperaturabhängigkeit der zu bestimmenden Werte für die Kali- brierungsparameter zu ermitteln.

Die in der US 2009/0109426 und der WO 2005/026772 offenbarten Anordnungen sind jedoch nachteilig wegen der Notwendigkeit einer Verwendung eines aufwendig herstellbaren Einzel-Retroreflektors wie eines Corner-Cube-Retroreflek- tors mit genau definierten bzw. hergestellten reflektierenden Oberflächen und sehr hohen Anforderungen an dessen exakte Positionierung für Zwecke einer verlässlichen Selbstkalibrierung der Justierung eines Lasertrackers.

Eine Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung eines gegenüber dem Stand der Technik verbesserten Koordi- natenmessgerätes , insbesondere eines Lasertrackers, mit weniger aufwendigen optischen Komponenten zur Ausführung einer Selbstkalibrierung der Justierung des Lasertrackers, verbunden mit einer vereinfachten Durchführung der Selbst- kalibrierung . Dabei soll der Lasertracker dazu ausgebildet sein, eine solche Selbstkalibrierung seiner Justierung automatisch, insbesondere nach einem Aufstarten des Geräts, ohne erforderliche Tätigkeiten oder Eingriffe eines Benutzers, zu ermöglichen. Ausserdem sollen alle für eine solche Selbstkalibrierung erforderlichen Komponenten in der Koordinaten-Messvorrichtung bzw. dem Lasertracker integriert bzw. daran fest angeordnet sein.

Diese Aufgabe wird durch die Verwirklichung der kennzeichnenden Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merk- male, die die Erfindung in alternativer oder vorteilhafter Weise weiterbilden, sind den abhängigen Patentansprüchen zu entnehmen .

Die Aufgabe wird erfüllt durch eine selbstkalibrierende Koordinaten-Messvorrichtung, insbesondere einen selbstkalibrierenden Lasertracker, zur Bestimmung von Koordinaten von Raumpunkten. Nachfolgend beziehen sich alle Angaben bezüglich eines Lasertrackers auch auf eine entsprechende Koordinaten-Messvorrichtung. Der Lasertracker weist einen stationären Teil mit einer Basis, einen gegenüber der Basis um eine Vertikalachse rotierbaren Teil und eine zusammen mit dem rotierbaren Teil drehbare Strahllenkeinheit sowie eine Laserlichtquelle zur Bereitstellung eines durch die Strahllenkeinheit auszusendenden Laserstrahls mit einer Zielachse und einer Einstrahlungsrichtung auf einen anzuzielenden Zielpunkt oder Reflektor auf. Vorzugsweise ist an der Basis ein Neigungssensor zur Bestimmung einer Neigung in einer Horizontalrichtung und einer zur Horizontalrichtung senkrechten Vertikalrichtung angeordnet. Des Weiteren weist der Lasertracker eine Kippachse und eine Stehachse auf. In der Strahllenkeinheit ist ein Strahl- teiler zur Umlenkung eines von dem Zielpunkt oder dem Reflektor zurückkehrenden Laserstrahls auf einen in der Strahllenkeinheit integrierten ersten positionssensitiven Flächendetektor integriert. Der positionssensitive Flächen^¬ detektor kann insbesondere ein erster PSD sein; es sind ebenso aber auch Bildsensoren wie CCD oder CMOS verwendbar. Ebenfalls bereitgestellt ist eine Auswerte- und Steuer^¬ einheit zur Bestimmung eines Auftreffpunkts der reflek^¬ tierten Messstrahlung auf dem Flächendetektor zur Erzeugung eines Ausgangssignals zur Positionsbestimmung des Ziels und insbesondere zur Steuerung einer Zielverfolgungsfunktiona^¬ lität .

Insbesondere kann der Lasertracker noch weitere gattungs- gemässe Komponenten aufweisen, unter anderem eine Kamera zur Erfassung der räumlichen Ausrichtung des Ziels, und mindestens eine Kamera zur Groblokalisierung des Ziels, ausserdem zur Bereitstellung der Entfernungsmessfunktio- nalität einen Absolutdistanzmesser und ein Interferometer . Die Messstrahlung kann vorzugsweise durch einen Helium- Neon-Laserofen erzeugt werden.

Der erfindungsgemässe Lasertracker ist gekennzeichnet durch eine ausserhalb der Strahllenkeinheit, insbesondere an der Basis, angebrachte Kalibrierungsvorrichtung zur Verwendung mit einer Selbstkalibrierungsfunktionalität, im Rahmen derer Kalibrierungsparameter bezüglich einer Position und/oder Richtung der Messstrahlung bestimmbar sind, insbesondere ein Parallelversatz und eine Richtungsabweichung der Messstrahlung. Die Kalibrierungsvorrichtung weist erfindungsgemäss einen positionssensitiven Flächendetektor auf, vorzugsweise in Form eines zweiten PSD; es sind ebenso aber auch Bildsensoren wie CCD oder CMOS verwendbar. Der zweite PSD ist so positioniert, dass Messstrahlung von der Strahllenkeinheit auf ihn emittierbar ist. Die Auswerte- und Steuereinheit ist erfindungsgemäss zudem ausgestaltet zur Bestimmung eines Auftreffpunkts von auf dem zweiten PSD auftreffender Messstrahlung, wodurch Kalibrierungsparameter bezüglich einer Position und/oder Richtung der Mess- Strahlung bestimmbar sind.

Die Erfindung stellt damit einen Lasertracker bereit, mit welchem eine automatisch ablaufende Selbstkalibrierung der Justierung des Lasertrackers ohne erforderliche Tätigkeiten oder Eingriffe eines Benutzers ermöglicht wird. In einer bevorzugten Ausführungsform ist im Rahmen der Selbstkalibrierungsfunktionalität durch den Lasertracker eine Zweilagenmessung durchführbar, wobei im Rahmen der Zweilagenmessung in einer ersten und einer zweiten Ausrichtung der Strahllenkeinheit Messstrahlung auf den zweiten PSD emittierbar ist, insbesondere wobei die Strahllenkeinheit in der zweiten Ausrichtung gegenüber der ersten Ausrichtung bezüglich des Horizontalschwenkwinkels um 180° gedreht ist und/oder und dieser gegenüber „auf dem Kopf" steht.

In jeder der beiden Ausrichtungen wird die Messstrahlung vorzugsweise zunächst auf einen zuvor bestimmten Servokon- trollpunkt eingeregelt und anschliessend über die Winkel^¬ messfunktionalität der Horizontalschwenkwinkel und der Vertikalschwenkwinkel bestimmt.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Kalibrierungsvorrichtung ein optisches Element auf, das in Strahlrichtung der Messstrahlung vor dem zweiten positionssensitiven Flächendetektor angeordnet ist. Das optische Element ist dabei vorzugsweise an der Basis in einer bekannten räumlichen Beziehung zum zweiten positions- sensitiven Flächendetektor bereitgestellt, sowie derart gestaltet und angeordnet, dass Kalibrierungsparameter bezüglich einer Richtung der Messstrahlung bestimmbar sind.

Vorzugsweise ist in Einstrahlungsrichtung auf den zweiten PSD vor diesem ein optisches Element als Bestandteil der Kalibrierungsvorrichtung vorgesehen, insbesondere teildurchlässig für die Messstrahlung.

In einer Ausführungsform ist dieses optische Element eine vor der zweiten PSD angebrachte Lochblende, die als Kolli^¬ mator dient. Blende und PSD sind zueinander vorzugsweise wie in einer Lochkamera angeordnet. Die Richtung der Ziel- achse kann dabei unabhängig von einem eventuell vorhandenen Versatz der Zielachse bestimmt werden. Vorteilhaft werden darüber hinaus keine hohen Ansprüche an eine exakte Aus^¬ richtung der Lochkamera gestellt, da mit einer ausreichend dimensionierten PSD eine nicht orthogonale Ausrichtung der Lochkamera zur Zielachse kompensiert werden kann.

Vorzugsweise ist die Öffnung der Blende kleiner als der Strahldurchmesser. Unter anderem ermöglicht dies - selbst dann wenn der Strahldurchmesser nicht symmetrisch ist ausreichend genau bestimmen zu können, wann die Messstrahlung mit der Lochkamera kollimiert ist. Wird der Strahl mittels Steh- und Kippachse in einem Raster über die Lochkamera bewegt, kann so die Intensitätsverteilung innerhalb des Strahls aufgezeichnet werden. Aus den einzelnen Beob- achtungen lässt sich dann, ähnlich wie bei den Pixeln eines CCD- oder CMOS-Sensors , der Schwerpunkt berechnen. Dadurch, dass man jeder Beobachtung sowohl einen Positionswert auf der zweiten PSD, als auch einen Winkelwert des Laser- trackers zuordnen kann, wird die Lochkamera, d. h. deren Abbildungsmassstab bzw. Kammerkonstante, vorteilhaft durch das Abrastern automatisch mitkalibriert. Das System ist demnach selbstkalibrierend und muss nur für die kurze Dauer des Abrasterns stabil bleiben. Es kann vorzugsweise auch ein optisches Gitter an der Blende vorgesehen sein, das bei einem Anstrahlen durch die Messstrahlung ein Interferenzmuster auf der Oberfläche des zweiten PSD erzeugt, insbe^¬ sondere wobei das Interferenzmuster zu einer genauen Bestimmung eines Auftreffpunktes der Messstrahlung auf dem zweiten PSD verwendet werden kann. In einer Ausführungsform ist das optische Element zur Reflexion eines Teiles der Messstrahlung als reflektierter Messstrahlung auf den ersten PSD ausgestaltet. In einer besonderen Ausführungsform ist die vor der zweiten PSD angebrachte Lochblende als ein Retroreflektor ausge^¬ staltet, beispielsweise - wie in der WO 01/09642 AI oder in der EP 0 405 423 A2 beschrieben - als ein teilentspiegelter Tripelspiegel . Alternativ kann die Lochblende auch eine reflektierende Oberfläche aufweisen, insbesondere ausge^¬ staltet als ein Planspiegel oder eine retroreflektierende Folie. In diesen Fällen ist die Öffnung der Lochblende vorzugsweise kleiner als der Strahldurchmesser der Mess- Strahlung, und die reflektierende Oberfläche grenzt vor^¬ zugsweise direkt an die Öffnung an. Ein erster Teil der Messstrahlung trifft somit auf dem zweiten PSD auf, während ein zweiter Teil der Messstrahlung durch die reflektierende Oberfläche oder den Retroreflektor auf den ersten PSD (retro-) reflektiert wird.

In einer Ausführungsform ist das optische Element als ein für die Messstrahlung teildurchlässiges Reflexionsmittel ausgestaltet .

Dabei kann das teildurchlässige Reflexionsmittel ein teil- durchlässiger Planspiegel zur Bestimmung des Zielachsen- Richtungsfehlers mittels Autokollimation sein. Vorteilhaft können durch eine solche kombinierte Anordnung, bei der auf den teildurchlässigen Planspiegel auftreffendes Licht auf den in Einstrahlungsrichtung dahinter angeordneten PSD teilweise durchtritt, Messungen eines Zielachsen-Richtungs^¬ fehlers und eines Versatzes der Zielachse in einem Mess^¬ vorgang kombiniert werden, was insbesondere auch eine Beschleunigung der Durchführung der Selbstkalibrierungsmessungen ermöglicht. Insbesondere kann der Planspiegel direkt auf der PSD-Oberfläche angeordnet sein.

Ausserdem kann das teildurchlässige Reflexionsmittel ein teildurchlässiger Retroreflektor zur Bestimmung eines Strahlversatzes des auf den ersten PSD auftreffenden, reflektierten Laserstrahls sein. Dieser kann in Form eines Einzelreflektors , wie beispielsweise eines Prismas oder eines Corner Cubes ausgestaltet sein, beispielsweise ein teilentspiegelter Tripelspiegel - wie in der WO 01/09642 AI oder in der EP 0 405 423 A2 beschrieben -, oder alternativ als eine retroreflektierende Folie oder ein starrer Rück^¬ strahler aus Kunststoff und insbesondere zusammengesetzt aus Einzelprismen oder einzelnen reflektierenden Kugeln ausgebildet, wie in der Europäischen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen EP12198763.0 beschrieben. Vorteilhaft ist die Herstellung solcher aus kleinen Einzelreflektoren bestehenden Retroreflektoren mit relativ niedrigem Aufwand und daher auch entsprechend niedrigen Produktkosten verbunden, insbesondere wenn es sich dabei um in grossen Massen vertriebene Erzeugnisse handelt. Insbesondere kann ein solcher Retroreflektor direkt auf der PSD-Oberfläche angeordnet sein. In einer weiteren Ausführungsform ist das optische Element ein Strahlteiler, und die Kalibrierungsvorrichtung weist zusätzlich einen Retroreflektor oder einen Planspiegel auf. Dabei sind die zweite PSD und der Retroreflektor oder der Planspiegel vermittels des Strahlteilers von dem Laser- strahl dadurch gleichzeitig anzielbar, dass der Strahlteiler den Laserstrahl anteilig auf beide Elemente weiterleitet .

In einer weiteren Ausführungsform weist die Kalibrierungsvorrichtung an der Basis ein Reflexionsmittel auf, auf welches Messstrahlung von der Strahllenkeinheit zur Reflexion der Messstrahlung als reflektierter Messstrahlung auf den ersten positionssensitiven Flächendetektor emit- tierbar ist, insbesondere wobei das Reflexionsmittel ein Retroreflektor ist und insbesondere wodurch ein Servo- kontrollpunkt als Teil der Kalibrierungsparameter bestimmbar ist. Als Reflexionsmittel kommen für die genannten Ausführungs^¬ formen insbesondere Planspiegel, Retroreflektoren in Form von Einzelreflektoren und retroreflektierende Folien in Frage .

In einer weiteren Ausführungsform ist das optische Element eine optische Linse, mittels derer die Messstrahlung scharf und insbesondere punktförmig auf dem zweiten PSD abgebildet wird .

Alternativ oder zusätzlich zur oben beschriebenen Anordnung eines optischen Elementes vor dem zweiten PSD kann auch der PSD teildurchlässig für die Strahlung ausgestaltet und vor einem Retroreflektor oder einem Planspiegel angeordnet sein. Auch eine Kombination mehrerer optischer Elemente ist möglich, insbesondere bei Verwendung eines Strahlteilers.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Selbstkali- brierungsverfahren für einen erfindungsgemässen Laser- tracker. Der Lasertracker weist einen stationären Teil mit einer Basis, einen gegenüber der Basis um eine Vertikal^¬ achse rotierbaren Teil (Stütze) und eine zusammen mit der Stütze drehbare Strahllenkeinheit sowie eine Laserlicht- quelle zur Bereitstellung eines durch die Strahllenkeinheit auszusendenden Laserstrahls mit einer Zielachse und einer Einstrahlungsrichtung auf einen anzuzielenden Zielpunkt oder Reflektor auf. Vorzugsweise ist an der Basis ein Neigungssensor zur Bestimmung einer Neigung in einer Horizontalrichtung und einer zur Horizontalrichtung senk- rechten Vertikalrichtung angeordnet. Des Weiteren weist der Lasertracker eine Kippachse und eine Stehachse auf. In der Strahllenkeinheit ist ein Strahlteiler zur Umlenkung eines von dem Zielpunkt oder dem Reflektor zurückkehrenden Laser- Strahls auf einen ersten in der Strahllenkeinheit inte^¬ grierten PSD integriert.

Als Teilschritt des Verfahrens wird optional mit dem Neigungssensor eine Neigung der Basis in einer Horizontalrichtung und einer zur Horizontalrichtung senkrechten Ver- tikalrichtung bestimmt.

Erfindungsgemäss weist das Verfahren als weitere Schritte auf :

• Aussenden eines Laserstrahls von der Strahllenkeinheit auf einen zweiten PSD, der an der Basis oder an der Stütze angebracht ist,

• Bestimmen eines Auftreffpunkts des Laserstrahls auf dem zweiten PSD und

• Bestimmen von Kalibrierungsparametern bezüglich einer Position und/oder Richtung des Laserstrahls basierend auf dem bestimmten Auftreffpunkt .

In einer bevorzugten Ausführungsform wird Messstrahlung auch auf ein Reflexionsmittel ausgesendet, insbesondere gleichzeitig. Dabei trifft ein erster Teil der Mess^¬ strahlung auf den zweiten PSD auf, und ein zweiter Teil der Messstrahlung wird vom Reflexionsmittel als reflektierte Messstrahlung auf den ersten positionssensitiven Flächendetektor reflektiert. Das Reflexionsmittel kann sowohl einen Retroreflektor als auch einen Planspiegel aufweisen. Das Verfahren beinhaltet dann auch ein Bestimmen eines Auftreffpunkts des Laserstrahls auf dem ersten PSD. Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist dieses Reflexionsmittel einen aus vielen Einzel^¬ prismen bestehenden Retroreflektor auf, wie in der Europäischen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen EP12198763.0 beschrieben. Gemäss dieser Ausführungsform des erfindungs- gemässen Verfahrens wird durch eine entsprechende Bewegung der Strahllenkeinheit zeitlich sequentiell ein zweidimen^¬ sionaler Verlauf des Auftreffpunkts des Laserstrahls auf einer Oberfläche des Retroreflektors , insbesondere mit einer zweidimensional kreisartigen oder schlaufenartigen geometrischen Kontur, erzeugt. Messdaten von sequentiell erfolgenden Reflexionen an im Strahlengang bewegten Einzelreflektoren des Retroreflektors werden gemittelt. Vorteil^¬ haft können durch eine solche Führung des eingestrahlten Laserstrahls auf den aus vielen Einzelreflektoren beste^¬ henden Reflektor nachteilige Effekte durch Fehlreflexionen oder sogar Ausfall von Reflexionen an nicht perfekt ausge^¬ bildeten Oberflächen des Retroreflektors vermindert oder sogar eliminiert werden. In einer Ausführungsform weist das Verfahren als weiteren Schritt ein Erzeugen

• eines Schattenwurfs mittels einer Lochblende auf,

• eines Interferenzmusters mittels eines optischen Gitters auf und/oder

· einer scharfen Abbildung der Messstrahlung auf dem zweiten PSD einer optischen Linse auf.

In einer weiteren Ausführungsform weist das Verfahren als weiteren Schritt ein Bewegen der Messstrahlung in einem Raster über eine in Strahlrichtung der Messstrahlung vor dem zweiten positionssensitiven Flächendetektor angeordnete Lochblende auf, insbesondere zum Ermitteln einer Intensi- tätsverteilung innerhalb der Messstrahlung und/oder eines Schwerpunkts der Messstrahlung auf dem zweiten PSD.

In einer weiteren Ausführungsform weist das Verfahren als weitere Schritte auf: · ein Aussenden von Messstrahlung auf einen Retrore- flektor,

• ein Erzeugen einer Retroreflexion einer auf dem Retro- reflektor auftreffenden Messstrahlung als einer reflektierten Messstrahlung,

· ein Bestimmen eines Auftreffpunktes der von dem Retro- reflektor reflektierten Messstrahlung auf dem ersten PSD, und

• ein Bestimmen eines Servokontrollpunkts .

In einer weiteren Ausführungsform weist das Verfahren als weiteren Schritt ein gleichzeitiges Aussenden der Mess^¬ strahlung auf den zweiten PSD und auf ein Reflexionsmittel auf, wobei ein erster Teil der Messstrahlung auf den zweiten PSD auftrifft, und ein zweiter Teil der Messstrahlung vom Reflexionsmittel als reflektierte Mess- Strahlung auf den ersten PSD reflektiert wird. Das Reflexionsmittel kann insbesondere einen Retroreflektor oder einen Planspiegel aufweisen, und ausserdem für die Messstrahlung teildurchlässig gestaltet sein.

In einer weiteren Ausführungsform weist das Verfahren eine Zweilagenmessung auf, in deren Rahmen das Aussenden der Messstrahlung auf den zweiten PSD in einer ersten und einer zweiten Ausrichtung der Strahllenkeinheit erfolgt. Dabei ist die Strahllenkeinheit in der zweiten Ausrichtung gegenüber der ersten Ausrichtung bezüglich des Horizontal- schwenkwinkels insbesondere um 180° gedreht. Die Zweilagen- messung umfasst ausserdem ein Bestimmen des Auftreffpunkts der Messstrahlung auf dem zweiten PSD für beide Ausrichtungen der Strahllenkeinheit.

Der erfindungsgemässe Lasertracker und das erfindungs- gemässe Selbstkalibrierungsverfahren werden nachfolgend anhand von in den Zeichnungen schematisch dargestellten konkreten Ausführungsbeispielen rein beispielhaft näher beschrieben, wobei auch auf weitere Vorteile der Erfindung eingegangen wird. Im Einzelnen zeigen: Fig. 1 einen erfindungsgemässen Lasertracker und ein

Messhilfsmittel ;

Fig. 2 einen erfindungsgemässen Lasertracker in einer

Frontansicht ;

Fig. 3a-b eine Verwendung eines Retroreflektors als Kali- brierungsvorrichtung zur Bestimmung eines Strahlversatzes des auf den ersten PSD auftreffenden, zurückkehrenden Laserstrahls;

Fig. 4 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemässen

Kalibrierungsvorrichtung, aufweisend einen zwei- ten PSD;

Fig. 5a-b eine Zweilagenmessung zur Bestimmung eines Zielachsen-Richtungsfehlers des eingestrahlten Laser^¬ strahls mit der ersten Ausführungsform der erfin- dungsgemässen KaiibrierungsVorrichtung; Fig. 6a-b eine Zweilagenmessung zur Bestimmung eines Zielachsen-Richtungsfehlers des eingestrahlten Laser^¬ strahls mit einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrierungsvorrichtung, aufweisend einen zweiten PSD hinter einem halbdurch- lässigen Planspiegel;

Fig. 7a-b eine Bestimmung eines Zielachsen-Richtungsfehlers des eingestrahlten Laserstrahls mit einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemässen Kali- brierungsvorrichtung, aufweisend einen zweiten

PSD hinter einer Lochblende;

Fig. 8a-b einen Lasertracker mit einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrierungsvorrichtung, aufweisend einen zweiten PSD und einen Retroreflektor, die in die Basis integriert sind; und

Fig. 9a-d einen Lasertracker mit vier Varianten einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrierungsvorrichtung, aufweisend einen zwei- ten PSD und einen Planspiegel bzw. einen Retro- reflektor, die gleichzeitig anzielbar angeordnet sind .

Figur 1 zeigt einen erfindungsgemässen Lasertracker 1, umfassend eine Basis 140, eine darauf angebrachte Stütze 120 mit einem Griff 121 und eine an zwei (nicht dargestellten) Holmen der Stütze 120 gelagerte Strahllenkeinheit 110. Der abgebildete Lasertracker 1 ist auf einem Stativ 150 ange^¬ ordnet und misst mittels eines Laserstrahles 30 die Distanz zu einem auf einem Messhilfsmittel 80 befindlichen Retro- reflektor 81. Das Messhilfsmittel 80 - hier beispielhaft als Messtaster ausgeführt - umfasst weiterhin eine Anzahl Zielmarkierungen 82, beispielsweise in Form von reflektierenden oder selbstleuchtenden Lichtpunkten, sowie einen Messkopf 83 zum Plazieren auf einem zu vermessenden Ziel- punkt eines Zielobjektes 85. Der dargestellte Lasertracker 1 beinhaltet eine Messkamera, die insbesondere als fokussierbares Vario-Kamerasystem mit variabler Vergrösserung ausgestaltet ist, um die auf dem Messhilfsmittel 80 angeordneten Zielmarkierungen 82 zu erfassen. Anhand der von der Messkamera aufgenommenen Positionen der Zielmarkierungen 82 ist die räumliche Ausrichtung des Messhilfsmittels 80 bestimmbar.

Um Bewegungen des Messhilfsmittels 80 zu erkennen und nachvollziehen zu können, sodass der Laserstrahl 30 auf den Retroreflektor 81 ausgerichtet bleibt, weist der Laser- tracker 1 einen positionssensitiven Detektor (PSD) oder einen anderen optoelektronischen Sensor auf, insbesondere einen Tracking-Flächensensor, wie er beispielsweise in der WO 2007/079600 AI geoffenbart ist. Der PSD ist vorzugsweise in der Strahllenkeinheit 110 angeordnet und ermöglicht einer Auswerte- und Steuereinheit durch ein Erfassen der Ausrichtung des von einem Ziel, insbesondere dem Retroreflektor 81, reflektierten Laserstrahls das Nachführen der Ausrichtung des Laserstrahls 30. Durch das Nachführen der Laserstrahlausrichtung kann eine fortlaufende Zielverfolgung (Tracking) des Zielpunkts erfolgen und die Entfernung und Position des Zielpunkts fortlaufend relativ zum Messgerät bestimmt werden.

Figur 2 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform eines erfindungsgemässen Lasertrackers 1 in einer Frontalansicht. Der Lasertracker 1 umfasst eine Basis 140, die auf einer Haltevorrichtung befestigbar ist, hier dargestellt in Form eines Stativs 150. Auf der Basis 140 ist eine Stütze 120 um die Vertikalachse 9 drehbar gelagert angebracht. Die Stütze 120 weist einen ersten Holm 126 und einen zweiten Holm 127 auf, die von der Stütze 20 aus nach oben ragen und an welchen eine Strahllenkeinheit 110 mittels einer Welle 160 um die Horizontalachse 8 kippbar gelagert ist. An den beiden Holmen 126,127 ist ein Griff 121 für den Transport und die Handhabung des Lasertrackers 1 angebracht. Der Griff 121 kann fest mit den Holmen 126, 127 verbunden sein, beispielsweise aus einem Guss mit diesen hergestellt oder angeschweisst sein, so dass er als zusätzlich stabili^¬ sierendes Element für die Holme 126,127 dient, insbesondere hinsichtlich eines Verbiegens. An der Strahllenkeinheit 110 sind in dieser beispielhaften Ausführungsform mehrere Optiken vorgesehen, insbesondere eine Optik 112 einer Messkamera, sowie eine Laseraussende- und -empfangsoptik 111 einer optischen Distanzmessvorrichtung. Des weiteren weist die Strahllenkeinheit 110 vorzugsweise eine Optik einer Lokalisierungskamera 114 zur Groblokalisierung des Messhilfsmittels 80 und eine Optik einer Übersichtskamera 116 zur Bereitstellung von Bildern für einen Benutzer auf.

Die Figuren 3a und 3b illustrieren die bekannte Verwendung einer Kalibrierungsvorrichtung in Form eines grossen Einzelreflektors 88, wie beispielsweise eines Prismas oder eines Corner Cubes, zur Bestimmung eines Strahlversatzes 61 des auf den positionssensitiven Detektor (PSD) 10 auftreffenden, zurückkehrenden Laserstrahls 31 gegenüber dem Detektorzentrum 15, sowie die Nachteile, die sich bei dieser Verwendung ergeben.

Gemäss der Ausrichtung der ausgesandten Messstrahlung 30 nach Figur 3a tritt diese exakt durch die Mitte des Strahl^¬ teilers 33 hindurch und trifft auch exakt im Zentrum des Einzel-Retroreflektors 88 derart auf, dass sie in sich als eine reflektierte Messstrahlung 31 durch den Strahl- teiler 33 auf den PSD 10 mit einem Detektorzentrum 15 umgelenkt wird.

Auf dem PSD 10 trifft die reflektierte Messstrahlung 31 an einem in der Regel von dem Detektorzentrum 15 verschiedenen Punkt 13 auf. Wenn die Richtung und Positionierung der ausgesandten Messstrahlung 30 auf den Retroreflektor eingeregelt sind, ist dieser Auftreffpunkt mit einem sogenannten Servokontrollpunkt identisch, dessen genaue Bestimmung für weitere Massnahmen und Messungen zur Selbstkalibrierung des Lasertrackers wesentlich ist. Der dermassen bestimmte Servokontrollpunkt weist in der Regel einen Versatz 71 zum Detektorzentrum 15 auf.

Angegeben sind in Figur 3a des Weiteren eine Teleskop- Drehachse 8, um welche die Strahllenkeinheit 110 drehbar ist, ein Strahlversatz 61 zwischen einer Zentralachse durch die Drehachse 8 und dem zurückkehrenden Laserstrahl 31 und die Achsen 6 und 7. Gemäss der Situation nach Figur 3a können der Versatz 71 und der Strahlversatz 61 separat voneinander bestimmt werden. Figur 3b illustriert eine Situation, gemäss derer der ausgesandte Laserstrahl 30 nicht mittig auf dem Einzel^¬ reflektor 88 auftrifft, aber der Abstand 71 auf dem PSD 10 und der Strahlversatz 61 der Zielachse zusammen korreliert bekannt sind. Gemäss dieser Situation trifft der ausge- sandte Laserstrahl 30 nicht mittig auf dem Zentrum des Einzel-Retroreflektors 88 auf, sondern auf einer ersten seitlichen Reflexionsfläche, und wird um dessen Zentrum herumgelenkt auf eine gegenüberliegende zweite ( und dritte) Reflexionsfläche, von wo er als zurückkehrender Laserstrahl 31 parallel versetzt zum ausgesandten Laserstrahl 30 reflektiert wird. In dem dargestellten Spezialfall trifft er dann mit einem Wert Null des Versatzes 71 zum Detektorzentrum 15 dem PSD 10 auf.

Der Versatz 71 („PSDOffset") und der Strahlversatz 61 („ZAAbst ") können durch einen beide Einzelparameter enthal- tenden Gesamtversatz („Offset'") auf dem PSD 10 bestimmt und dann durch ein einfaches Gleichungssystem voneinander separiert werden:

PSDOffset - ZAAbst

Richtung_l korrigiert arctan(^■) - Richtungsfehler (1)

2 x Dist

PSDOffset - ZAAbst = Offset' (2) Solange PSD-Offset (Versatz 71) und Zielachsenabstand (Strahlversatz 61) klein genug sind, bleibt dabei die Strahlüberdeckung zwischen ausgehenden und zurückkommenden Strahl bei einem Einsatz von Laserinterferometern (IFM) und absoluten Distanzmessern (ADM) für zuverlässige Messungen ausreichend gut. Für eine genaue Kalibrierung wird aber ein solcher Fall bevorzugt, bei dem kein Versatz auftritt.

Figur 4 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungs- gemässen Kalibrierungsvorrichtung 2. Im Gegensatz zur in den Figuren 3a-b gezeigten Anordnung, weist diese Kali- brierungsvorrichtung 2 einen zweiten PSD 20 anstelle des Einzelreflektors 88 auf.

Gemäss der Ausrichtung der ausgesandten Messstrahlung 30 nach Figur 4 tritt diese exakt durch die Mitte des Strahl^¬ teilers 33 hindurch und trifft am Auftreffpunkt 14 auf dem zweiten PSD 20 auf. Insbesondere für eine Bestimmung der Zielachsenabstände kann der zweite PSD 20 hochauflösend als ein positionsempfindlicher Detektor oder eine Zeilenkamera mit einer grossen Vielzahl von Lichtnachweiselementen (Pixels) , aber auch als eine Photodiode mit einem lichtemp^¬ findlichen Bereich geringeren Durchmessers als der eingestrahlten Messstrahlung 30, wobei ein maximales Messsignal in der Strahlmitte ermittelt wird, als eine Vierquadranten- diode, als zwei rechtwinklig zueinander angeordnete Zeilenkameras oder als eine einzige Zeilenkamera mit einem Gitter ausgebildet sein.

In den Figuren 5a-b wird eine Zweilagenmessung mit der ersten Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrie- rungsvorrichtung 2 aus Figur 4 gezeigt.

Zur Bestimmung der Abstände der Zielachse zu einer Stehachse und einer Kippachse ist aus dem Stand der Technik eine Zweilagenmessung mit einem am stationären Teil befestigten Prisma oder Corner Cube als Retroreflektor bekannt. Dabei werden zuvor bestimmte Werte für Zielachsen- Richtungsfehler, beruhend aus den in einer Zweilagenmessung bestimmten Winkelunterschieden und der Abstand zum Retroreflektor als bekannt vorausgesetzt. Erfindungsgemäss ist es jedoch vorteilhaft - bei einer ansonsten gleichartigen Systemkonfiguration und -anordnung - den Einzelreflektor, wie in Figur 4 gezeigt, durch einen zweiten PSD 20 zu ersetzen. Erfindungsgemäss gibt es für eine derartige Kon^¬ figuration zur Bestimmung der Zielachsenabstände 61 zwei alternative Vorgehensweisen: Zum einen, gemäss der Darstellungen in Figuren 5a-b, die Anzielung eines für die Messungen in den beiden Lagen identischen Ortspunkts 12 auf dem zweiten PSD 20 und Bestimmung der Zielachsenabstände unter Berücksichtigung der an den Winkelencodern gemessenen Richtungen. Zum anderen ein zweimaliges freies Positionieren der Messstrahlung 30 auf dem zweiten PSD 20, verbunden mit einer Bestimmung des Abstands des jeweiligen Auftreffpunkts auf dem zweiten PSD 20 zu dessen Detektorzentrum. Voraussetzung für diese zweite Vorgehensvariante ist eine vorangegangene Kalibrierung mit einer Bestimmung von Abbildungsmassstab und Verdrehung, was mittels Abrasterns der Oberfläche des zweiten PSD 20 mit der Messstrahlung 30, mittels deren Führung durch Bewegung der Stahllenkeinheit 110 um die Steh- und Kippachse durchführbar ist.

Eine Weiterentwicklung der Erfindung als eine besonders vorteilhaften Ausführungsform ermöglicht eine Bestimmung der Zielachsenabstände in Verbindung mit, und nicht unab^¬ hängig von bzw. nach, einer Bestimmung des Zielachsen- Richtungsfehler, gemäss der Illustrationen durch Fig. 6a-b. Dazu ist in Strahlrichtung der Messstrahlung 30 vor dem zweiten PSD 20 ein teilweise lichtdurchlässiger Planspiegel 24 angeordnet, auf den die Messstrahlung 30 senk^¬ recht eingestrahlt wird. Gemäss dieser Ausführungsform der Erfindung werden bei der Bestimmung der Zielachsen-Richtungsfehler auf dem Planspiegel 24 zugleich die zu bestimmenden Zielachsenabstände erkennbar, vorausgesetzt, dass die Zielachsen-Richtungsfehler eher gering sind, und aus den Signalen zu den Auftreffpunkten der teilweise durch- tretenden und auf den zweiten PSD 20 auftreffenden Messstrahlung 30 können dann die Zielachsenabstände in einer Weise wie vorangehend zu Figuren 5a-b beschrieben bestimmt werden. Da die Messstrahlung 30 auf den teildurchlässigen Planspiegel 24 senkrecht auftrifft, ergibt sich kein zusätzlicher Versatz durch einen Planplatten-Effekt, d. h. Strahlversatz 61' und Strahlversatz 61 sind gleich gross.

Für diese Ausführungsform der Erfindung ist ebenfalls eine vorangegangene Kalibrierung mit einer Bestimmung von Abbildungsmassstab und Verdrehung erforderlich, was mittels Abrasterns der Oberfläche der zweiten PSD 20 mit der Mess^¬ strahlung 30, mittels deren Führung durch Bewegung der Strahllenkeinheit 110 um die Steh- und Kippachse, durch^¬ führbar ist. Ausserdem muss die PSD 20 hinsichtlich ihrer lichtempfindlichen Oberfläche gross genug ausgebildet sein, um bei den grössten zu erwartenden Zielachsenabständen die eingestrahlte Messstrahlung 30 noch vollständig erfassen zu können. Vorteilhaft ist für diese Ausführungsform der Erfindung der zweite PSD 20 in Strahlrichtung möglichst nahe hinter dem teildurchlässigen Planspiegel 24 angeordnet, der bei einer solchen Konfiguration auch die Funktion eines Schutzglases vor dem zweiten PSD 20 erfüllt. Insbe- sondere kann die Oberfläche des zweiten PSD 20 auch teil^¬ durchlässig verspiegelt sein.

Die Figuren 7a-b zeigen eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrierungsvorrichtung 2, aufweisend einen zweiten PSD 20 hinter einer Lochblende 28, die als Kollimator dient. Blende 28 und PSD 20 sind vorzugsweise zueinander wie in einer Lochkamera angeordnet. Die Richtung der Zielachse 6 kann dabei unabhängig von einem eventuell vorhandenen Versatz 61 der Zielachse 6 bestimmt werden. Vorzugsweise ist die Öffnung der Blende 28 kleiner als der Strahldurchmesser der Messstrahlung 30.

Vorteilhaft werden darüber hinaus keine hohen Ansprüche an eine exakte Ausrichtung der Blendenachse 27 der Lochkamera gestellt, wie aus Figur 7b ersichtlich ist, da mit einer ausreichend dimensionierten PSD 20 eine nicht exakt ortho- gonale Ausrichtung zur Zielachse 6 kompensiert werden kann.

Die Figuren 8a-b zeigen schematisch einen erfindungsge- mässen Lasertracker 1 gemäss Figuren 1 und 2 mit der mit der rotierbaren Stütze 120 verbundenen Strahllenkeinheit 110 und der stationären Basis 140. Der Lasertracker 1 weist eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemässen Kalibrierungsvorrichtung auf. Diese weist einen zweiten PSD 20 und einen Retroreflektor 21 auf, die beide in die Basis 140 integriert sind.

In Figur 8a wird eine von einer (nicht dargestellten) Laserlichtquelle bereitgestellte Messstrahlung 30 durch die Strahllenkeinheit 110 auf einen in der Basis 140 inte^¬ grierten Retroreflektor 21 ausgesendet, der gemäss der hier dargestellten Ausführungsform als ein Einzelreflektor ausgebildet ist. Dabei kann es sich beispielsweise um ein Prisma oder einen „Corner Cube" handeln. Von dem Retro- reflektor 21 wird die Messstrahlung 30 in der dargestellten Strahlausrichtung in sich als reflektierte Messstrahlung 31 zu einem in der Strahllenkeinheit 110 integrierten Strahlteiler 33 reflektiert. Von dem Strahlteiler 33 wird die reflektierte Messstrahlung 31 auf einen in der Strahllenk- einheit 110 integrierten ersten PSD 10 umgelenkt. Zusätzlich ist in der Basis 140 ein zweiter PSD 20, verbunden mit einer Datenverarbeitungseinheit 29 der Auswerte- und Steuereinheit des Lasertrackers 1 für eine Bestimmung einer Strahlausrichtung bezüglich Horizontal- und Vertikal- richtung, angeordnet.

Die Darstellung gemäss Figur 8a illustriert eine Anordnung für eine Bestimmung eines Strahlversatzes der auf den ersten PSD 10 auftreffenden, reflektierten Messstrahlung 31 gegenüber dem Detektorzentrum und/oder eines Versatzes bzw. Abstands zwischen einer mit der Messstrahlung 30 assoziierten Zielachse für eine Selbstkalibrierung der Justierung des Lasertrackers 1 und insbesondere seiner Strahllenk- einheit 110.

Dabei entspricht die Verwendung eines Corner Cube als Retroreflektor 21 einer Anordnung zur Bestimmung eines Strahlversatzes, wie sie beispielsweise aus den Dokumenten US 2009/0109426 und WO 2005/026772 bekannt ist.

Figur 8b illustriert in einer ansonsten der Darstellung von Figur 8a entsprechenden Anordnung die Ausrichtung der Strahllenkeinheit 110 zur Aussendung der Messstrahlung 30 auf den zweiten PSD 20 zur Bestimmung eines Richtungs- fehlers der Zielachse der ausgesandten Messstrahlung 30, durch Bestimmung eines Auftreffpunkts der Messstrahlung 30 auf diesem zweiten PSD 20.

In den Figuren 9a-c werden drei beispielhafte Varianten einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemässen Kali- brierungsvorrichtung gezeigt. In dieser Ausführungsform weist die Kalibrierungsvorrichtung 2 einen zweiten PSD 20 und ein Reflexionsmittel auf, wobei die beiden Elemente derart zueinander angeordnet sind, dass sie mit der Mess^¬ strahlung 30 gleichzeitig anzielbar sind. Das Reflexions- mittel kann jeweils als ein Planspiegel 24 oder als ein Retroreflektor 22 ausgestaltet sein.

Vorzugsweise kann ein Retroreflektor 22 in dieser Ausführungsform - wie in der Europäischen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen EP12198763.0 beschrieben - zur Erzeugung einer versatzfreien, koaxialen Retroreflexion einer auf ihm auftreffenden Messstrahlung 30 ausgebildet sein, ohne dabei einen Versatz der reflektierten Messstrahlung 31 zur Richtung der auftreffenden Messstrahlung 30 zu erzeugen. Insbesondere ist der Retroreflektor 22 dazu als eine retroreflektierende Folie oder ein starrer Rückstrahler aus Kunststoff ausgebildet, und/oder weist eine Vielzahl reflektierender Kugeln und/oder Prismen auf.

In Figur 9a ist eine erste Variante dargestellt, in welcher die Kalibrierungsvorrichtung 2 einen zweiten Strahl- teiler 23 aufweist, der die Messstrahlung 30 auf den zweiten PSD 20 und einen Planspiegel 24 leitet. Die vom Planspiegel 24 reflektierte Messstrahlung 31 wird über den zweiten Strahlteiler 23 und den ersten Strahlteiler 33 auf den ersten PSD 10 geleitet. In Figur 9b ist eine zweite Variante dargestellt, in der ein als eine retroreflektierende Folie oder ein starrer Rückstrahler ausgebildete Retroreflektor 22 teildurchlässig für die Messstrahlung 30 gestaltet ist, sodass ein erster Teil der Messstrahlung 30 auf den zweiten PSD 20 gelangt, und ein zweiter Teil der Messstrahlung 30 als reflektierte Messstrahlung 31 vom Retroreflektor 22 über den ersten Strahlteiler 33 auf den ersten PSD 10 reflektiert wird.

In Figur 9c ist eine dritte Variante dargestellt, in der ein Retroreflektor 21 in Form eines teilentspiegelten Tripelspiegels vor dem zweiten PSD 20 positioniert ist, sodass ein erster Teil der Messstrahlung 30 auf den zweiten PSD 20 gelangt, und ein zweiter Teil der Messstrahlung 30 als reflektierte Messstrahlung 31 vom Retroreflektor 22 über den ersten Strahlteiler 33 auf den ersten PSD 10 reflektiert wird.

In Figur 9d ist eine vierte Variante dargestellt, in der der zweite PSD 20 teildurchlässig für die Messstrahlung 30 gestaltet ist, sodass ein Teil der auf den zweiten PSD 20 auftreffenden Messstrahlung 30 auf den Retroreflektor 22 gelangt und von diesem als reflektierte Messstrahlung 31 über den ersten Strahlteiler 33 auf den ersten PSD 10 reflektiert wird.

Es versteht sich, dass diese dargestellten Figuren nur mögliche Ausführungsbeispiele schematisch darstellen. Die verschiedenen Ansätze können ebenso miteinander sowie mit Verfahren und Geräten des Standes der Technik kombiniert werden .