21-01-2020 дата публикации
Номер: KR102068882B1
본 설명에 따른 밀폐형 코팅 시스템의 실시예는, 예를 들어, OLED 디스플레이, OLED 조명, 유기 광기전체, 페로브스카이트 태양 전지, 및 유기 반도체 회로와 같은, 그러나 이에 제한되지 않는, 폭넓은 범위의 기술 영역에서 다양한 장치 및 디바이스의 제조시 기판의 패턴처리 영역 코팅에 유용할 수 있다. 본 설명의 환경적으로 제어되는 밀폐형 코팅 시스템은 여러가지 장점을 제공할 수 있다. 가령, 1) 이러한 코팅-기반 제조가 대기압에서 수행될 수 있도록 소정 범위의 진공 처리 작동이 제거되며, 2) 제어되는 패턴처리 코팅이 물질 낭비를 제거하고, 유기층의 패턴처리 실현에 통상적으로 요구되는 추가 공정을 제거하며, 3) 본 설명의 밀폐형 코팅 장치의 다양한 실시예를 이용하여 패턴처리 코팅에 사용되는 다양한 제재가 점도 및 표면장력과 같은 폭넓은 범위의 물리적 성질을 가질 수 있다. 밀폐형 코팅 시스템의 다양한 실시예는 가스 순환 및 여과 시스템, 입자 제어 시스템, 가스 정제 시스템, 및 온도 조절 시스템, 등을 제공하는 다양한 구성요소들과 통합되어, 이러한 환경을 요구하는 본 설명의 다양한 코팅 프로세스를 위해 실질적으로 저밀도 입자인 비활성 가스 환경을 지속할 수 있는 밀폐형 코팅 시스템의 다양한 실시예를 형성할 수 있다. Embodiments of the hermetic coating system according to the present description include, but are not limited to, a wide range of such as, for example, but not limited to, OLED displays, OLED lighting, organic photovoltaics, perovskite solar cells, and organic semiconductor circuits. It may be useful in coating patterned areas of substrates in the manufacture of various devices and devices in the art. Environmentally controlled hermetic coating systems of the present description can provide several advantages. For example, 1) a range of vacuuming operations are eliminated such that such coating-based manufacturing can be performed at atmospheric pressure, and 2) controlled patterned coatings eliminate material waste and are typically required for the patterning of organic layers. Eliminating the additional process, and 3) the various materials used in the patterned coating using various embodiments of the hermetic coating apparatus of the present description can have a wide range of physical properties such as viscosity and surface tension. Various embodiments of the hermetic coating system are integrated with various components that provide gas circulation and filtration systems, particle control systems, gas purification systems, and temperature control systems, and the like, so that various coating processes of the present disclosure ...
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