24-05-2002 дата публикации
Номер: KR100338140B1
전자를 안정되게 고효율로 방출할 수 있는 저가의 전계 방사형 전자원(電子源) 및 그 제조 방법을 제공한다. n형 실리콘 기판(1, 101)의 주 표면측에 강전계 드리프트(drift)부 (6, 106)가 형성되고, 강전계 드리프트부(6, 106)상에 금박막으로 이루어진 표면 전극(7, 107)이 형성된다. 또, n형 실리콘 기판(1, 101)의 뒷면에는 오믹(ohmic)전극(2, 102)이 형성된다. 이 전계 방사형 전자원(11, 110)에서는 표면 전극 (7, 107)을 진공중에 배치하고, 표면 전극(7,107)을 오믹 전극(2, 102)에 대해 양극(+)으로 하여 직류 전압을 인가함으로써, n형 실리콘 기판(1, 101)에서 주입된 전자가 강전계 드리프트부(6, 106)를 드리프트하여 표면 전극(7, 107)을 통해 방출된다. 강전계 드리프트부(106)는, 도전성 기판인 n형 실리콘 기판(101)의 두께 방향으로 직교하는 단면이 망목상(網目狀)으로 형성되어 상기 전자가 드리프트되는 드리프트부(161)와, 망목 내에 채워지며 드리프트부(161)보다도 열전도성이 좋은 방열부(162)로 이루어진다. Provided are a low-cost field emission electron source capable of stably emitting electrons stably and with high efficiency and a method of manufacturing the same. Strong field drift portions 6 and 106 are formed on the main surface side of the n-type silicon substrates 1 and 101, and surface electrodes 7 made of a gold thin film on the strong field drift portions 6 and 106 are formed. 107 is formed. In addition, ohmic electrodes 2 and 102 are formed on the back surfaces of the n-type silicon substrates 1 and 101. In the field emission electron sources 11 and 110, the surface electrodes 7 and 107 are disposed in a vacuum, and the surface electrodes 7 and 107 are the anodes (+) with respect to the ohmic electrodes 2 and 102 to apply a DC voltage. The electrons injected from the n-type silicon substrates 1 and 101 drift the strong electric field drift portions 6 and 106 and are emitted through the surface electrodes 7 and 107. The strong electric field drift portion 106 is formed in a mesh shape with a cross section orthogonal to the thickness direction of the n-type silicon substrate 101 serving as the conductive substrate, and the electrons drift, and in the mesh. Filled and made of a heat dissipation unit 162 having better thermal conductivity than the drift unit 161.
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