20-05-2010 дата публикации
Номер: RU0000094378U1
1. Флэш-элемент памяти электрически перепрограммируемого постоянного запоминающего устройства, содержащий полупроводниковую подложку со сформированными в ней с планарной стороны истоком и стоком, последовательно выполненные на подложке между истоком и стоком туннельный слой, запоминающий слой, блокирующий слой и затвор, отличающийся тем, что запоминающий слой выполнен из диэлектрика с большим значением диэлектрической проницаемости в диапазоне от 10 до 100, с концентрацией электронных и дырочных ловушек, свойственной запоминающей среде. 2. Флэш-элемент памяти по п.1, отличающийся тем, что запоминающий слой выполнен из диэлектрика с большим значением диэлектрической проницаемости в диапазоне от 10 до 100, с концентрацией электронных и дырочных ловушек, свойственной запоминающей среде, любого из перечисленных: TiO, TaO, AlTaO, AlHfO, TaON, HfO, HfSiON, HfON, ErO, LaO, ZrO, ZrON, ZrHfO, AlZrO, ZrSiO, GdO, YO, GaO, AlON. 3. Флэш-элемент памяти по п.1 или 2, отличающийся тем, что запоминающий слой выполнен толщиной 4,0÷30,0 нм. 4. Флэш-элемент памяти по п.1, отличающийся тем, что туннельный слой выполнен из оксида кремния толщиной 2,0÷5,0 нм. 5. Флэш-элемент памяти по п.1, отличающийся тем, что блокирующий слой выполнен из оксида кремния или диэлектрика с диэлектрической проницаемостью, большей, чем у оксида кремния. 6. Флэш-элемент памяти по п.5, отличающийся тем, что блокирующий слой выполнен из любого диэлектрика: ВаТаО, BaSrTiO, BaSrNbO, PbZnNbО, PbZrTiO, LiNbO, BiLaTiO, BiSrCuO, BiTiO, SrBiTaO, SrBiTaVO, SrTiNbO, SrNbO, SrTaO, SrZrO, PbTiO, LaAlO, KTaO, TiO, TaO, AlTaO, TaON, HfO, HfSiON, HfON, ErO, LaO, ZrO, ZrON, ZrSiO, GdO, YO, SiON, AlON, AlO. 7. Флэш-элемент памяти по п.1, или 5, или 6, отличающийся тем, что блокирующий слой выполнен толщиной 3,0÷100,0 нм. 8. Флэш-элемент памяти по п.1, отличающийся тем, что затвор выполнен из поликремния, или тугоплавкого металла, или силицида тугоплавкого металла. 9. Флэш-элемент памяти по п.1, отличающийся тем, что ...
Подробнее