Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 2. Отображено 2.
06-06-2023 дата публикации

Substrate supporting unit and substrate processing apparatus including same

Номер: CN116219367A
Автор: PARK JOON-SEOK, JUNG CHUL-HO, LEE SANG-KEE
Принадлежит:

According to the present invention, there is provided a substrate supporting unit and a substrate processing apparatus including the same, the substrate supporting unit including a base member; the clamp part is loaded on the base part; and an intermediate layer between the base member and the clip member, the intermediate layer including: a joining portion formed in a partial region to join the base member and the clip member.

Подробнее
Номер записи: 1
30-06-2023 дата публикации

Substrate processing apparatus

Номер: CN116364517A
Автор: LEE SANG-KEE, JUNG SO-HYUNG
Принадлежит:

The inventive concept provides an apparatus for processing a substrate. A substrate processing apparatus according to an embodiment includes a housing having a processing space in which a substrate is processed; a support unit that supports a substrate in the processing space; and a gas supply unit that supplies a gas to the processing space, in which a heat transfer runner that supplies a heat transfer medium to the substrate supported by the support unit, a pin hole, and a connection portion are formed inside the support unit, the pin hole defines a lifting path of a lifting pin for lifting a substrate supported by the support unit, and the connecting portion communicates the heat transfer runner and the pin hole with each other, and the connecting portion includes a porous structure.

Подробнее
Номер записи: 2