Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
27-06-2023 дата публикации

Substrate polishing method and method for removing metal layer of substrate

Номер: CN116330148A
Автор: FUKUNAGA AKIRA, WATANABE KATSUHIDE, KOBATA ITSUKI, TSUJIMURA MANABU
Принадлежит:

The purpose of the present invention is to flatten a substrate having unevenness. The present invention provides a method for chemically and mechanically polishing a substrate, the method comprising: a step for polishing a substrate using a processing liquid; and a step for changing the concentration of the active ingredient of the processing liquid that contributes to the polishing of the substrate.

Подробнее
Номер записи: 1