Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
07-11-2018 дата публикации

METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер: KR1020180120965A
Автор: CHO, YONG SEOK, KIM, HYUNG JOON, KIM, JUNG HO, RA, JOONG YUN, KIM, BI O, AHN, JAE YOUNG, OH, KI YONG, LEE, SUNG HAE
Принадлежит:

Provided is a method for manufacturing a semiconductor device with improved operational performance. The method comprises the steps of: forming a mold structure in which interlayer insulating films and sacrificial films are alternately and repeatedly laminated on a substrate; forming a channel hole through the mold structure; forming a vertical channel structure in the channel hole; exposing surfaces of the interlayer insulating films by removing the sacrificial films; forming an aluminum oxide film along the surfaces of the interlayer insulating films; forming a TiON continuous film on the aluminum oxide film; and nitriding the TiON continuous film to form a TiN film. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

Подробнее
Номер записи: 1