Настройки

Укажите год
-

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее
-

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Ведите корректный номера.
Укажите год
Укажите год
Применить Всего найдено 1. Отображено 1.
11-06-2015 дата публикации

STRUCTURE AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING BLOCK COPOLYMER

Номер: KR1020150064262A
Автор: LEE, JUNG HYUNG, BOK, CHEOL KYU, BAN, KEUN DO, KIM, MYOUNG SOO, LEE, KI LYOUNG
Принадлежит:

A structure for forming a pattern using a block copolymer includes a first hard mask layer which is arranged on a pattern object layer with a first region and a second region, a second hard mask layer which is patterned to expose a part of the surface of the first hard mask layer in the first region and is not patterned to cover the first hard mask layer in the second region, a guide layer which is arranged on the second hard mask layer, a neutralization layer which is arranged on the exposed region of the first hard mask layer in the first region, a first block copolymer which is arranged on the neutralization layer and the guide layer of the first region, and a second block copolymer which is arranged on the guide layer of the second region. COPYRIGHT KIPO 2015 ...

Подробнее
Номер записи: 1