Joining system and joining method
Номер патента: WO2016114073A1
Опубликовано: 21-07-2016
Автор(ы): 宗久 児玉, 恭満 山口, 慶崇 大塚, 穣 山▲崎▼
Принадлежит: 東京エレクトロン株式会社
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-07-2016
Автор(ы): 宗久 児玉, 恭満 山口, 慶崇 大塚, 穣 山▲崎▼
Принадлежит: 東京エレクトロン株式会社
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Joining method and joining system
Номер патента: US9484236B2. Автор: Masatoshi Deguchi,Shinji Okada,Masatoshi Shiraishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-01.