Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой.

Главная
Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой

Номер патента: RU2463570C1
Опубликовано: 10-10-2012
Автор(ы): Валентина Николаевна Вологина, Валентина Николаевна Вологина (RU), Евгений Михайлович Белозубов, Евгений Михайлович Белозубов (RU), Наталья Анатольевна Козлова, Наталья Анатольевна Козлова (RU), Нина Евгеньевна Белозубова, Нина Евгеньевна Белозубова (RU)
Принадлежит: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.