圧電振動ジャイロ用圧電振動子
Реферат: (57)【要約】
【課題】 小型で構造及び製造が簡単であり、エネルギ ー閉じ込め振動の集中度が高くて優れたジャイロ特性を 有するエネルギー閉じ込め振動型圧電振動ジャイロ用圧 電振動子を提供すること。
【解決手段】 この圧電振動子1では、厚さ方向に分極 軸成分を有する円形の圧電板10の一方の主面に外側か ら中央部近傍へ向かって延びた駆動用及び検出用を含む 電極11,12,13が形成され、圧電板10の主面に おける中央部近傍の電極11,12,13の局部(電極 11,12,13のそれぞれにおける端子部11a,1 2a,13a)によって囲まれた平行電界励振型エネル ギー閉じ込め厚み滑り振動を生じさせるための振動領域 Eのみを円形状に分極している。ここでは、分極されて いる振動領域Eと分極されていない領域との圧電的特性 が変化するため、エネルギー閉じ込めの状態(集中度) が良好になる。