УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Номер патента: RU0000054375U1
Опубликовано: 27-06-2006
Автор(ы): Гевал Юрий Николаевич, Кошелевский Виктор Фадеевич, Мисожников Лев Викторович, Юркевич Игорь Николаевич
Принадлежит: Мисожников Лев Викторович
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-06-2006
Автор(ы): Гевал Юрий Николаевич, Кошелевский Виктор Фадеевич, Мисожников Лев Викторович, Юркевич Игорь Николаевич
Принадлежит: Мисожников Лев Викторович
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ОКСИДНЫХ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ
Номер патента: RU0000092240U1. Автор: Визирь Алексей Вадимович,Тюньков Андрей Владимирович,Шандриков Максим Валентинович,Юшков Георгий Юрьевич,Окс Ефим Михайлович. Владелец: Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН (ИСЭ СО РАН). Дата публикации: 2010-03-10.