Способ очистки гексафторэтана
Номер патента: SU1438170A1
Опубликовано: 20-05-1996
Автор(ы): А.А. Назаренко, А.И. Сорокин, В.Н. Шилов, Н.Д. Бушина, Н.П. Яшманова, Т.К. Треногина
Принадлежит: Н.Д. Бушина
Опубликовано: 20-05-1996
Автор(ы): А.А. Назаренко, А.И. Сорокин, В.Н. Шилов, Н.Д. Бушина, Н.П. Яшманова, Т.К. Треногина
Принадлежит: Н.Д. Бушина
Реферат: Изобретение касается галоидуглеводородов, в частности способа очистки гексафторэтана - травильного средства для изготовления интегральных схем в электронной промышленности. Цель - упрощение процесса. Очистку ведут адсорбцией тетрафторэтилена высококремнеземистым синтетическим цеолитом - эрионитом формулы (NaO • KO) • AlO(6-7,4) SiOпри комнатной температуре. Способ позволяет получать гексафторэтан 99,9-100%-ной чистоты, проводить процесс без предварительной обработки сорбента. Кроме того, последний после девяти циклов работы не теряет адсорбционной способности, в то время как в известном случае после трех циклов адсорбционная емкость снижается на 7%. 1 табл.
Способ очистки внутри помещения
Номер патента: RU2477148C2. Автор: Хироаки ОКАНО,Казуо НИСИКАВА,Хисахару ЯГИ,Норихиро МАЦУОКА,Томонори АКАИ,Мисаки НАКАМУРА,Йосихиру СИМИЗУ. Владелец: Шарп Кабусики Кайся. Дата публикации: 2013-03-10.