MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES.

Главная
MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM (MEMS) STRUCTURES AND DESIGN STRUCTURES

Номер патента: US20130168782A1
Опубликовано: 04-07-2013
Автор(ы): JAHNES Christopher V., Stamper Anthony K.
Принадлежит: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.