Adsorption type gas scrubber for treating gas generated during semiconductor manufacturing
Реферат: 【要約】
【課題】 触媒吸着剤を受容する吸着剤ケースが容易 に交換できる構造とし、装置の停止時間を短縮させ、半 導体ディバイスの製造中に生じるガスの処理効率を高め られる吸着型ガススクラバーを提供する。
【解決手段】 本発明による吸着型ガススクラバーは直 六面体状のキャビネットと、吸気されるガスの圧力を測 定するための第1圧力ゲージをそなえた吸気管と連結さ れる誘導管と、誘導管に隣接して位置され、誘導管から 供給されるガスを吸着処理するための多数の触媒吸着剤 が、積層されて処理されたガスの圧力を測定するための 第2圧力ゲージが設けられた排気管を通して排出するよ うに排気管と連結される吸着桶と、初期に誘導管から吸 着桶の最下部に位置された触媒吸着剤へガスを供給する ために最下部に提供されるガス通路と、第1圧力ゲージ と第2圧力ゲージとの圧力差に伴う作動によって、誘導 管から吸着桶に積層された各々の触媒吸着剤へガスを供 給及び遮断するためのガス通路手段を含む。 An adsorbent gas scrubber having a structure in which an adsorbent case for receiving a catalyst adsorbent can be easily exchanged, shortening a stop time of an apparatus, and improving a processing efficiency of gas generated during the manufacture of a semiconductor device. provide. SOLUTION: The adsorption type gas scrubber according to the present invention has a rectangular parallelepiped cabinet, a guide pipe connected to an intake pipe having a first pressure gauge for measuring a pressure of gas to be taken, and a guide pipe. Exhaust pipe provided with a second pressure gauge for measuring the pressure of a gas, which is located adjacently and is stacked with a number of catalyst adsorbents for adsorbing a gas supplied from an induction pipe. An adsorption vessel connected to an exhaust pipe so as to discharge the gas through the pipe; a gas passage provided at the bottom for initially supplying gas from the guide pipe to the catalyst adsorbent located at the bottom of the adsorption vessel; A gas passage means is provided for supplying and shutting off gas from the guide tube to each of the catalyst adsorbents stacked on the adsorption tub by an operation according to a pressure difference between the first pressure gauge and the second pressure gauge.
Absorbing substances introduction into supplied into the pipeline wet scrubbers for the mercury emissions control
Номер патента: RU2664523C2. Автор: Джон Э. МИЛЛЕР,Сейед Б. ГОРИШИ,Уилльям С. ПИКРЕЛЛ,Рональд Р. ЛАНДРЕТ,Тимоти А. ФРОСТ,Дэвид И. РОЙЕР,Джек КАРМАЙКЛ. Владелец: Альбемарл Корпорейшн. Дата публикации: 2018-08-20.