Vorrichtung und verfahren für ein rastersondenmikroskop

15-01-2009 дата публикации

Номер:

ATE421150T1

Автор: Detlef Dr Knebel, Olaf Suenwoldt, Torsten Jaehnke

Принадлежит: Jpk Instruments Ag

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y3 B82Y35 B82Y35/B82Y35/0 B82Y35/00 G G0 G01 G01Q G01Q2 G01Q20 G01Q20/G01Q20/0 G01Q20/02 Y Y1 Y10 Y10S Y10S9 Y10S97 Y10S977 Y10S977/Y10S977/8 Y10S977/86 Y10S977/868

IPC - классификация

G G0 G01 G01Q G01Q2 G01Q20 G01Q20/G01Q20/0 G01Q20/02 G01Q6 G01Q60 G01Q60/G01Q60/0 G01Q60/04 G01Q60/2 G01Q60/26