砒素化合物単結晶成長装置

23-03-1985 дата публикации

Номер:

JPS6051698A

Автор: Kenji Tomizawa, Koichi Sasa, Yasushi Shimanuki, 佐々　紘一, 冨澤　憲治, 島貫　康

Принадлежит: Research Development Corp of Japan, Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C3 C30 C30B C30B1 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/10

IPC - классификация

C C0 C03 C03B C03B1 C03B19 C03B19/C03B19/0 C03B19/09 C03B19/095 C3 C30 C30B C30B1 C30B13 C30B13/C30B13/1 C30B13/14 C30B15 C30B15/C30B15/1 C30B15/10