Способ изготовления катода на основе массива автоэмиссионных эмиттеров

19-10-2017 дата публикации
Номер:
RU2016114920A
Контакты: 360005, г. Нальчик, ул. Коллонтай, 6, ООО "ШТЕРН"
Номер заявки: 49-11-201620
Дата заявки: 18-04-2016





Способ изготовления катода на основе массива автоэмиссионных эмиттеров, включающий формирование катодной структуры нанесением каталитического, углеродного и контактного слоев на поверхность диэлектрической опорной структуры, содержащей сквозные отверстия, нанесение анодного слоя на противоположной стороне опорной структуры с отверстиями, совмещенными с катодной структурой, отличающийся тем, что в качестве опорной структуры используется заготовка в виде стеклянной пластины, объединяющей большое число микроструктур с каналами (МКП), внутри которых электродуговым способом на поверхности каталитического слоя формируются регулярно расположенные эмиттеры на основе графитоподобных наночастиц, эффективно эмитирующие электроны за счет низкой работы выхода электронов.