Fabricating method and testing method of semiconductor device and mechanical integrity testing apparatus

01-06-2012 дата публикации

Номер:

TW201222725A

Автор: John Han-Cheng Lau, Ming-Che Hsieh, Ra-Min Tain

Принадлежит: Ind Tech Res Inst

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N19 G01N19/G01N19/0 G01N19/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L22 H01L22/H01L22/1 H01L22/12 H01L222 H01L2224 H01L2224/H01L2224/1 H01L2224/16

IPC - классификация

G G0 G01 G01N G01N1 G01N19 G01N19/G01N19/0 G01N19/04 G01N3 G01N3/G01N3/2 G01N3/24 G01N3/4 G01N3/46

Получить PDF