Method and apparatus for controlling topographical variation on a milled cross-section of a structure

24-04-2012 дата публикации

Номер:

US8163145B2

Автор: James P Nadeau, Jason H. Arjavac, Pei Zou

Принадлежит: FEI Co

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G1 G11 G11B G11B5 G11B5/G11B5/3 G11B5/31 G11B5/316 G11B5/3163 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/3 H01J2237/31 H01J2237/311 H01J2237/3114

IPC - классификация

G G1 G11 G11B G11B5 G11B5/G11B5/3 G11B5/31 G11B5/316 G11B5/3163

Получить PDF