Multi-pass optical apparatus

19-08-2014 дата публикации

Номер:

US8810902B2

Автор: Richard L. Sandstrom

Принадлежит: ASML Netherlands BV

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G02 G02B G02B1 G02B17 G02B17/G02B17/0 G02B17/00 G02B17/004 G02B5 G02B5/G02B5/0 G02B5/08 G02B7 G02B7/G02B7/1 G02B7/18 G02B7/181 G02B7/1815 G02B7/182 G02B7/1825 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/0 H01S3/07 H01S3/076 H01S3/2 H01S3/23 H01S3/232 H01S3/2325

IPC - классификация

G G0 G02 G02B G02B7 G02B7/G02B7/1 G02B7/18 G02B7/181 G02B7/1815 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/7 G03F7/70 G03F7/708 G03F7/7089 G03F7/70891 H H0 H01 H01S H01S3 H01S3/H01S3/0 H01S3/07 H01S3/076

Получить PDF