Laser Sustained Plasma Light Source With Electrically Induced Gas Flow

26-12-2013 дата публикации

Номер:

US20130342105A1

Автор: Bezel Ilya, Shchemelinin Anatoly

Принадлежит:

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/320 H01J37/3205 H01J37/32055

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/32 C23C14/325 H H0 H05 H05H H05H1 H05H1/H05H1/4 H05H1/48 H05H1/5 H05H1/50

Получить PDF