Device and Method for Evacuating a Chamber and Purifying the Gas Extracted From Said Chamber

12-03-2015 дата публикации

Номер:

US20150068399A1

Автор: Gottschlich Uwe, Kösters Heiner

Принадлежит:

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D4 B01D47 B01D47/B01D47/0 B01D47/00 F F0 F04 F04C F04C1 F04C19 F04C19/F04C19/0 F04C19/00 F04C19/004

IPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D4 B01D47 B01D47/B01D47/0 B01D47/00 F F0 F04 F04C F04C1 F04C19 F04C19/F04C19/0 F04C19/00 F04C19/004 F04C7 F04C7/F04C7/0 F04C7/00

Получить PDF