Method for producing polymer compound, polymer compound, and photoresist resin composition

28-05-2015 дата публикации

Номер:

US20150147696A1

Автор: Akira Eguchi, Masamichi Nishimura

Принадлежит: Daicel Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F2 C08F22 C08F22/C08F22/0 C08F22/04 C08F220 C08F220/C08F220/1 C08F220/10 C08F24 C08F24/C08F24/0 C08F24/00 C08F28 C08F28/C08F28/0 C08F28/06 C08F6 C08F6/C08F6/0 C08F6/02 C08F6/06 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/03 G03F7/039 G03F7/0397

IPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F2 C08F22 C08F22/C08F22/0 C08F22/04 C08F28 C08F28/C08F28/0 C08F28/06 C08F6 C08F6/C08F6/0 C08F6/02

Получить PDF