EXTREME ULTRAVIOLET ALIGNMENT MARKS

31-05-2018 дата публикации

Номер:

US20180149963A1

Автор: Chang Jong-Yuh, HSIEH Yi-Fu, Lee Hsin-Chang, Tu Chih-Chiang

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/24 G03F1/4 G03F1/42 G03F1/48 G03F1/5 G03F1/54 G03F1/7 G03F1/78 G03F1/8 G03F1/80 G03F1/82

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/24 G03F1/4 G03F1/48 G03F1/8 G03F1/82

Получить PDF