PHOTOMASK

19-03-2020 дата публикации

Номер:

US20200089099A1

Автор: Chou You-Hua, Chuang Kuo-Sheng

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/1 G03F1/14 G03F1/146 G03F1/2 G03F1/20 G03F1/22 G03F1/3 G03F1/38 G03F1/5 G03F1/54 G03F1/6 G03F1/60

IPC - классификация

G G0 G03 G03F G03F1 G03F1/G03F1/2 G03F1/20 G03F1/22 G03F1/5 G03F1/54

Получить PDF