ELECTROCHEMICAL DEPOSITION SYSTEMS WITH ENHANCED CRYSTALLIZATION PREVENTION FEATURES

01-06-2023 дата публикации

Номер:

US20230167575A1

Автор: Kwan Wook Roh, Xundong Dai, Keith Edward Ypma, Scott A. Wehrmann

Принадлежит: Applied Materials, Inc.

Контакты:

Номер заявки: 45-82-1753

Дата заявки: 30-11-2021

CPC - классификация

C C2 C25 C25D C25D1 C25D17 C25D17/C25D17/0 C25D17/00 C25D17/001 C25D2 C25D21 C25D21/C25D21/0 C25D21/02 C25D21/1 C25D21/12 C25D21/14 C25D3 C25D3/C25D3/3 C25D3/38 C25D7 C25D7/C25D7/1 C25D7/12 C25D7/123

IPC - классификация

C C2 C25 C25D C25D2 C25D21 C25D21/C25D21/0 C25D21/02 C25D21/1 C25D21/14

Получить PDF