Selected block phenolic oligomers and their use in radiation-sensitive resist compositions

23-03-1993 дата публикации

Номер:

US5196289A

Автор: Alfred T. Jeffries, III, Andrew J. Blakeney, Kenji Honda, Sobhy Tadros

Принадлежит: OCG Microelectronic Materials Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C3 C07C39 C07C39/C07C39/1 C07C39/12 C08 C08G C08G8 C08G8/C08G8/0 C08G8/08 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/02 G03F7/023 G03F7/0236

IPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C3 C07C39 C07C39/C07C39/1 C07C39/12 C08 C08G C08G8 C08G8/C08G8/0 C08G8/08 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/02 G03F7/023 G03F7/0233

Получить PDF