Method for manufacturing an electrostatic chuck

17-01-2006 дата публикации

Номер:

US6986865B2

Автор: Hongy Lin, Jason Eugene Smith, Thomas Michael Laskowski

Принадлежит: Watlow Electric Manufacturing Co

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B3 B32 B32B B32B2 B32B23 B32B231 B32B2315 B32B2315/B32B2315/0 B32B2315/02 C C0 C04 C04B C04B2 C04B22 C04B223 C04B2235 C04B2235/C04B2235/3 C04B2235/38 C04B2235/388 C04B2235/3886 C04B2235/5 C04B2235/54 C04B2235/543 C04B2235/5436 C04B2235/544 C04B2235/5445 C04B2235/6 C04B2235/60 C04B2235/604 C04B2235/65 C04B2235/658 C04B2235/7 C04B2235/77 C04B2235/9 C04B2235/94 C04B2237 C04B2237/C04B2237/3 C04B2237/34 C04B2237/343 C04B3 C04B35 C04B35/C04B35/1 C04B35/11 C04B35/117 C04B35/6 C04B35/64 C04B35/645

IPC - классификация

C C0 C04 C04B C04B3 C04B35 C04B35/C04B35/1 C04B35/11 C04B35/117 C04B35/6 C04B35/64 C04B35/645 C04B35/8 C04B35/80

Получить PDF