Method of inhibition of metal diffusion arising from laser dicing

28-07-2009 дата публикации

Номер:

US7566637B2

Автор: Dae-Young Jung, Mukta G Farooq, Robert Hannon

Принадлежит: International Business Machines Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/020 H01L21/0207 H01L21/02076

Получить PDF