Поиск патентов

Настройки

Глубина выборки

Укажите год

Небесная энциклопедия

Космические корабли и станции, автоматические КА и методы их проектирования, бортовые комплексы управления, системы и средства жизнеобеспечения, особенности технологии производства ракетно-космических систем

Подробнее

Мониторинг СМИ

Мониторинг СМИ и социальных сетей. Сканирование интернета, новостных сайтов, специализированных контентных площадок на базе мессенджеров. Гибкие настройки фильтров и первоначальных источников.

Подробнее

Форма поиска

Ключевые слова. Может быть несколько по одной на строку

Поддерживает ввод нескольких поисковых фраз (по одной на строку). При поиске обеспечивает поддержку морфологии русского и английского языка

Автор

Ведите корректный номера.

Владелец

Ведите корректный номера.

Классы IPC

Ведите корректный номера.

Классы CPC

Ведите корректный номера.

Начиная с года

Укажите год

Заканчивая годом

Укажите год

Применить Всего найдено 19. Отображено 19.

20-04-2016 дата публикации

METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING TRANSPARENT WAFER USING IMAGE PICKUP DEVICE

Номер: KR101609695B1

Автор: KIM, JIN OH, HAN, JIN SEOK, PARK, JOON GUN, PARK, DONG HWAN

Принадлежит: ROBOTS AND DESIGN CO., LTD.

The present invention relates to a method and an apparatus for aligning a transparent wafer using an image pickup device which is suitable for aligning a transparent wafer. The apparatus for aligning a transparent wafer using an image pickup device comprises: a light generation unit (100) to generate light; a wafer position drive unit (200) to load, align, and transport a wafer (10); a light source sensor (300) which faces the light generation unit (100), disposes the wafer (10) between the light generation unit (100) and the same, and receives the light of the light generation unit (100); an image analysis unit (400) to analyze an image received by the light source sensor (300); a control unit (500) to approximate a function for image data analyzed by the image analysis unit (400) by a least mean square (LMS) method using a second-order polynomial function to search for a vertex of a parabola, and approximate a function by an LMS method using an equation of a circle to obtain a center ...