СПОСОБ И УСТРОЙСТВО РЕЦИКЛА ДЛЯ РЕЦИКЛА СБРОСНОЙ ВОДЫ, СОДЕРЖАЩЕЙ СУСПЕНЗИЮ, ИЗ ПРОЦЕССА ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ, В ЧАСТНОСТИ, ИЗ ПРОЦЕССА ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ

Изобретение относится к способу и устройству для рецикла сбросной воды, содержащей суспензию, из процесса обработки полупроводников, в частности из процесса химико-механической полировки. Способ включает: стадию фильтрования, на которой свежую содержащую суспензию сбросную воду непрерывно подают в циркуляционную емкость (10), при этом смешанную сбросную воду непрерывно извлекают из циркуляционной емкости (10), извлеченную сбросную воду направляют через устройство (20) ультрафильтрации и концентрируют путем удаления жидкости для получения концентрированной сбросной воды, и концентрированную сбросную воду подают в циркуляционную емкость (10) и смешивают с содержимым циркуляционной емкости (10), чтобы получить смешанную сбросную воду; и стадию концентрирования, следующую по времени за стадией фильтрования, на которой добавление свежей сбросной воды в циркуляционную емкость (10) уменьшают или практически прекращают, при этом смешанную сбросную воду непрерывно удаляют из циркуляционной емкости ...