클램핑 고정구

... 본 발명은 척(1)을 포함하고 공작물 팔레트(2)를 척에 로크시키기 위한 클램핑 고정구에 관한 것이다. 척(1)은 센터링 스피곳(5) 형태의 제1 센터링 부재를 포함하고, 상기 공작물 팔레트(2)에는 본체(20)가 제공되며 센터링 디스크(23)가 고정된다. 센터링 디스크(23)에는 센터링 개구(24) 형태의 제2 센터링 부재가 제공된다. 공작물 팔레트(2)의 센터링 스피곳(5)은 공작물 팔레트(2)의 센터링 개구(24)에 적응되며, 공작물 팔레트는 X-방향 및 Y-방향으로 척(1)에 대해 정렬될 수 있다. 척(1)의 상부에는 밀봉 부재 조립체(7)가 제공된다. 센터링 디스크(23)와 공작물 팔레트(2)의 본체(20) 사이에는 센터링 디스크(23)보다 반경방향으로 돌출하는 밀봉 디스크(21)가 배치된다. 센터링 디스크(23)보다 반경방향으로 돌출하는 밀봉 디스크(21)의 부분은 공작물 팔레트(2)를 클램핑할 때 밀봉 부재 조립체(7)의 밀봉 부재와 밀봉 접촉하도록 구성된다.