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07-11-2018 дата публикации

냉각 시스템 및 냉각시스템의 냉각방법

Номер: KR0101916092B1
Автор: 윤정인, 손창효, 박성일, 유욱진, 안상영, 류두열, 김현중, 이관성
Принадлежит: 유니셈(주)

... 본 발명은 압축기(10), 응축기(20), 복수의 팽창장치, 이코노마이저(40), 증발기(50), 및 히터(H)를 구비한 브라인 탱크(60)를 포함하되, 상기 압축기(10)에서 나와서 상기 응축기(20)를 거친 냉매 중 일부를 상기 이코노마이저(40)에 바이패스하여 상기 증발기(50)에서 열교환시킨 후, 상기 압축기(10)로 다시 회수하는 냉매 메인공급유로(L5 내지 L9); 상기 압축기(10)에서 나와서 상기 응축기(20)를 거친 냉매 중 일부를 상기 이코노마이저(40)를 거친 후에 상기 압축기(10)에 베이퍼 인젝팅하는 냉매 베이퍼 인젝션 유로(L3, L4); 상기 압축기(10)와 상기 응축기(20) 사이의 유로(L1)에 일단부가 연결되고, 상기 증발기(50)와 상기 압축기(10) 사이에 위치하는 상기 유로(L9)에 타단부가 연결되며, 상기 복수의 팽창장치 중 팽창장치(70)가 설치된 유로; 상기 응축기(20)와 상기 유로(L9)를 연결하고 상기 복수의 팽창장치 중 팽창장치(80)가 설치된 유로; 상기 이코노마이저(40)로 유입되는 냉매의 온도 및 상기 브라인 탱크(60)의 상기 히터(H)를 지난 냉매의 온도를 감지하는 온도센서; 및 상기 온도센서로부터의 온도 정보에 의거하여 상기 냉매의 설정 흡열량과 실제 흡열량을 비교하여 상기 냉매의 온도를 제어하는 제어 소프트웨어가 내장된 제어 시스템을 구비한 제어판넬을 포함하고, 상기 복수의 팽창장치 중 팽창장치(90)는 상기 유로(L3)에 설치되어 있으며, 상기 복수의 팽창장치 중 팽창장치(100)는 상기 이코노마이저(40)와 상기 증발기(50) 사이의 유로에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 냉각 시스템 및 그 냉각방법에 관한 것이다.

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Номер записи: 1
13-03-2018 дата публикации

컨테이너 능동형 접근 통제 무선 보안 시스템 및 보안 방법

Номер: KR0101837846B1
Автор: 정부은
Принадлежит: 유니셈(주)

... 본 발명은 컨테이너로 접근하여 내용물을 탈취하려는 범죄자들이 소유한 Wi-Fi 무선통신을 사용하는 장비의 신호를 감지하여 Wi-Fi칩 고유의 식별정보를 확인하여 원격의 추적관제센터 등에 전송하여 침입을 경보하도록 구현한 컨테이너 능동형 접근 통제 무선 보안 시스템 및 보안 방법에 관한 것으로, 컨테이너에 장착 설치되며, 사용자가 근접할 시 사용자단말기로부터 Wi-Fi 무선 신호를 수신받아 Wi-Fi칩의 칩식별정보를 전송하기 위한 감지장치; 및 상기 감지장치로부터 칩식별정보를 수신받아 기 등록된 인가자식별정보와 비교하여, 일치하지 않을 경우에 경보신호를 생성시켜 주기 위한 보안서버를 포함한다.

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Номер записи: 2
03-08-2017 дата публикации

폐가스 처리장치용 전처리장치

Номер: KR0101764815B1
Автор: 이근수, 정 훈, 김진욱, 차용선
Принадлежит: 유니셈(주)

... 본 발명은 폐가스 처리장치용 전처리장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리용 전처리장치는 반도체 공정으로부터 배출되는 폐가스를 처리할 수 있도록 한 폐가스 처리장치의 전단에 설치되는 단일 몸체의 전처리장치로서, 상기 폐가스를 유입할 수 있도록 한 유입구 및 유입된 가스를 배출할 수 있도록 한 배출구가 형성된 몸체와, 상기 유입구와 배출구를 구획할 수 있게 상기 몸체 내에 설치되는 격벽과, 상기 유입구에 설치되어 몸체 내에 핫-질소 및 수분을 공급하여 파우더가 유입구에 점착되는 것을 방지할 수 있도록 하는 한편 폐가스에 포함된 수분을 증발시킬 수 있도록 한 고착방지부와, 상기 몸체 내에 설치되어 폐가스에 포함된 파우더, 먼지, 불순물 수용성 가스 등을 제거할 수 있도록 한 필터부 및 상기 격벽에 의해 구획된 몸체의 제1영역에 설치되어 벽면에 고착되는 파우더에 물을 분사하여 세척할 수 있도록 한 제2세척장치를 포함하는 폐가스 처리장치용 전처리장치가 제공된다.

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Номер записи: 3
30-06-2017 дата публикации

반도체 공정용 칠러의 전력 절감방법

Номер: KR0101752740B1
Автор: 박성일, 권진한, 송인환, 반윤식, 남정욱, 김학구
Принадлежит: 유니셈(주)

... 칠러와 연결된 공정설비에 인가되는 부하량을 산출하고, 산출된 부하량으로부터 공정설비에 부하가 인가되는지를 판단하여 공정설비에 부하가 인가되지 않는 경우, 압축기를 최소 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최대의 개도율로 개방하며, 공정설비에 부하가 인가되는 경우, 압축기를 산출된 부하량에 따라 기설정된 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최소 개도율로 개방함으로써, 압축기에 의한 전력소모가 감소되고 핫가스 밸브로부터 공급되는 핫가스를 브라인의 가열 소스(source)로 사용하여 브라인 히터에 의한 전력소모가 감소되도록 한다.

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Номер записи: 4
12-11-2015 дата публикации

SCRUBBER FOR PROCESSING WASTE GAS

Номер: KR101568804B1
Автор: LEE, KEUN SU, JEONG, HOON, KIM, JIN UK
Принадлежит: UNISEM CO., LTD.

Disclosed is a scrubber for processing waste gas, capable of removing harmful materials from the waste gas generated in semiconductor and LCD processes. According to one aspect of the present invention, provided is the scrubber for processing the waste gas which includes a burner part which includes a burning chamber and a burner and pyrolyzes the waste gas by burning the waste gas generated in the semiconductor process, a water processing unit which includes a spray nozzle and sprays cooling water to the waste gas via the burner part, and a dehumidifying unit which dehumidifies water included in the waste gas by cooling the waste gas via the water processing unit at a temperature of the dew point or less. COPYRIGHT KIPO 2016 ...

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Номер записи: 5
01-12-2017 дата публикации

냉매 직접증발 방식의 반도체 공정용 칠러

Номер: KR0101803931B1
Автор: 남정욱, 서석원
Принадлежит: 유니셈(주)

... 칠러와 공정 챔버를 순환하는 냉매에 의해 상기 공정 챔버와 직접 열 교환이 이루어지는 냉매 직접증발 방식의 반도체 공정용 칠러가 개시된다. 압축기를 기준으로 응축기, 수액기, 및 전자식 팽창밸브가 상기 공정 챔버 전단에 순서대로 배치되고, 상기 공정 챔버 후단에 증발압력 제어밸브와 열교환기가 순서대로 배치되어 상기 압축기로 연결되어 상기 냉매가 순환하는 냉매 라인을 구성하고, 상기 응축기로 공급되는 냉각수가 상기 응축기에서 회수되어 상기 열교환기로 공급되고, 상기 열교환기에서 열교환 후 회수되는 냉각수 라인을 구성하며, 상기 열교환기 후단의 상기 냉각수 라인에, 상기 열교환기 후단의 냉매 라인의 흡입냉매의 온도에 기초하여 제어부에 의해 제어되는 흡입냉매 온도제어 밸브가 설치된다.

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Номер записи: 6
08-03-2018 дата публикации

SECURITY DEVICE, SECURITY SYSTEM, AND METHOD FOR ACCESS CONTROL

Номер: KR101822586B1
Автор: JUNG, BOO EUN
Принадлежит: UNISEM CO., LTD.

A security device, a security system, and a method for access control are disclosed. According to an embodiment of the present invention, the security device comprises: a packet capturing unit for capturing a packet signal wirelessly transmitted from a mobile terminal of a visitor entering and exiting a specific space; a packet information extracting unit for extracting unique identification information of the mobile terminal and receiving time information of the packet signal by analyzing the packet signal captured by the packet capturing unit; a storage unit for storing the unique identification information and the receiving time information; and a data transmitting unit for transmitting the unique identification information and the receiving time information to a central server. According to the present invention, the central server can determine whether the mobile terminal of the visitor is a security-authorized terminal, and can measure location information based on the information ...

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Номер записи: 7
18-10-2017 дата публикации

HEAT-EXCHANGING CHILLER DEVICE

Номер: KR101786564B1
Автор: KWON, JIN HAN, KIM, DONG WOOK, SONG, IN HWAN, BAN, YUN SIK
Принадлежит: UNISEM CO., LTD.

The present invention discloses a heat-exchanging chiller device capable of not damaging a heat exchanger due to a coolant and minimizing power consumption of a heater. According to the present invention, a refrigerant recovered by a process chamber is divided to flow in a first passage passing through a heater and a second passage passing through a heat exchanger and a refrigerant flow rate control valve, and in a process where the refrigerants having passed through the first and second passages are mixed, an aperture of the refrigerant flow rate control valve is adjusted based on temperature sensed by temperature sensors installed, respectively, on a supply side and a recovery side of the process chamber such that the temperature of the mixed refrigerant is adjusted to predetermined temperature. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) Supply coolant (BB) Collect the coolant ...

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Номер записи: 8
07-12-2017 дата публикации

DRY SCRUBBER

Номер: KR101806170B1
Автор: OH, YUN HAG, LEE, KEUN SU, JEONG, HOON, CHA, YONG SUN, NOH, MYOUNG CHUL, JIN, HYUN SEOK, KIM, JIN UK, LEE, JIN SOL
Принадлежит: UNISEM CO., LTD.

Disclosed is a dry scrubber for treating an exhaust gas of a semiconductor manufacturing process. According to an aspect of the present invention, the dry scrubber comprises: a main canister filled with an adsorbent; a stirring unit arranged on the lower part of the main canister; a feeding line for guiding a processing gas to the stirring unit; and a discharge line connected to the upper part of the main canister to guide the processing gas to the outside of the device. The stirring unit comprises: a distribution pipe having a distribution hole, extended in a predetermined degree in a vertical direction, and formed to be able to rotate by using the vertical direction as an axis; a driving motor for rotating the distribution pipe; and a distribution pipe extended in a predetermined degree from one side of the distribution pipe in a transverse direction to be rotated along with the distribution pipe, and having a plurality of distribution holes arranged to be separated along a length direction ...

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Номер записи: 9
10-07-2018 дата публикации

ELECTRONIC SEALING DEVICE FOR CONTAINER

Номер: KR101876923B1
Автор: JUNG BOO EUN, CHEON JEONG CHWI
Принадлежит: UNISEM CO., LTD.

The present invention relates to an electronic sealing device for a container to seal and release a container by coupling a sealing wire to a frame and, more specifically, relates to an electronic sealing device for a container, which can be coupled to containers having various shapes and sizes by using a wire-shaped sealing wire, and has improved applicability and security by sealing and releasing the sealing device by only a designated individual user with short-distance wireless communication. COPYRIGHT KIPO 2018 ...

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Номер записи: 10