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30-01-2018 дата публикации

라디오 주파수 전력 발생 장치

Номер: KR0101812735B1
Автор: 손영훈, 박세홍, 엄세훈
Принадлежит: 인투코어테크놀로지 주식회사

... 본 발명은 라디오 주파수 전력 발생 장치를 제공한다. 이 장치는 직류 전원; 상기 직류 전원으로부터 부하 저항, 부하 인덕터 및 부하 축전기를 포함하는 부하에 전류 경로를 변경하기 위하여 상기 직류 전원에 전기적으로 연결된 복수의 스위치를 포함하는 스위치 회로; 및 상기 부하에 흐르는 부하 전류를 감지하여 주파수를 변경하여 상기 스위치 회로를 구동하는 제어부를 포함한다. 상기 제어부는 상기 부하 인덕터 및 상기 부하 축전기에 의한 직렬 공명 주파수를 중심으로 주파수를 스스로 맞추도록 자체 진동시킨다.

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Номер записи: 1
21-03-2023 дата публикации

전원 공급 장치

Номер: KR102512265B1
Автор: 손영훈, 박세홍, 엄세훈
Принадлежит: 인투코어테크놀로지 주식회사

... 본 발명은 전원 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 전원 공급 장치는 직류 전원을 교류 전원으로 변환하는 인버터, 교류 전원을 부하에 공급하는 임피던스 정합 회로, 그리고 인버터가 교류 전원을 출력하는 파워링 구간 및 인버터가 교류 전원을 출력하지 않는 프리휠링 구간의 배치를 조절하여, 인버터가 임피던스 정합 회로를 통해 부하로 공급하는 전력량을 조절하는 제어기를 포함한다.

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Номер записи: 2
30-01-2018 дата публикации

INDUCTION COIL AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS

Номер: KR101812743B1
Автор: UHM, SAE HOON, LEE, YUN SEONG
Принадлежит: EN2CORE TECHNOLOGY, INC.

The present invention provides an induction coil and an inductively coupled plasma generation apparatus. The inductively coupled plasma generation apparatus includes an induction coil. The induction coil comprises: a first induction coil including unit antennas arranged on a plurality of arrangement planes, respectively; and a second induction coil including unit antennas arranged on the arrangement planes, respectively. The unit antennas of the first induction coil and the unit antennas of the second induction coil are arranged alternately with each other. In addition, the unit antennas of the first induction coil are serially connected to each other by a first interlayer connection portion to sequentially change the arrangement planes, and the unit antennas of the second induction coil are serially connected to each other by a second interlayer connection portion to sequentially change the arrangement planes. COPYRIGHT KIPO 2018 (AA) Odd layer (BB) Even layer ...

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Номер записи: 3
13-03-2017 дата публикации

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA APPARATUS

Номер: KR101715340B1
Автор: UHM, SAE HOON, LEE, YUN SEONG
Принадлежит: EN2CORE TECHNOLOGY, INC.

The present invention relates to a plasma generating apparatus which can stably discharge. The inductively coupled plasma apparatus comprises: a dielectric discharge tube; an induction coil which is placed to surround the dielectric discharge tube and generates an induced electric field to generate plasma; and an alternating current supply part supplying power to the induction coil; The induction coil comprises: an inner solenoid induced coil placed to surround the dielectric discharge tube; and an outer solenoid induced coil placed while overlapping to surround the inner solenoid induced coil. The inner solenoid induced coil and the outer solenoid induced coil are wound for an electric current to flow in the same direction. COPYRIGHT KIPO 2017 (AA) Atmospheric pressure ...

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Номер записи: 4
08-02-2018 дата публикации

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS

Номер: KR101826883B1
Автор: UHM, SAE HOON, LEE, YUN SEONG
Принадлежит: EN2CORE TECHNOLOGY, INC.

The present invention relates to an inductive coil structure, and an inductively coupled plasma generation apparatus capable of enhancing discharge stability and efficiency. According to the present invention, the apparatus comprises: a dielectric tube extended in a longitudinal direction; a first inductive coil structure to surround the dielectric tube and to generate inductively coupled plasma in the dielectric tube; a radio frequency (RF) power source to provide positive and negative outputs with different phases, to supply the positive and negative outputs of RF power to both ends of the first inductive coil structure, and to change an operational frequency; a first main capacitor disposed between a positive output terminal of the RF power source and one end of the first inductive coil structure; and a second main capacitor disposed between a negative output terminal of the RF power source and the other end of the first inductive coil structure. The first inductive coil structure includes ...

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Номер записи: 5
13-09-2016 дата публикации

PLASMA APPARATUS

Номер: KR101657303B1
Автор: UHM, SAE HOON, LEE, YUN SEONG
Принадлежит: EN2CORE TECHNOLOGY, INC.

The present invention provides an atmospheric pressure induction coupling plasma apparatus which can stably discharge atmospheric pressure. The plasma apparatus comprises: a dielectric discharging tube; a swirl generating unit for providing a swirl flow inside the dielectric discharging tube by receiving gas; an induction coil arranged to cover the dielectric discharging tube, and generating an induction electric field to generate plasma; and an alternating current power unit for supplying power to the induction coil. COPYRIGHT KIPO 2016 (A1,A2) Pressurized air ...

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Номер записи: 6
13-07-2018 дата публикации

유도 결합 플라즈마 발생 장치

Номер: KR0101878225B1
Автор: 엄세훈, 이윤성
Принадлежит: 인투코어테크놀로지 주식회사

... 본 발명은 유도 결합 플라즈마 장치 및 유도 코일을 제공한다. 이 유도 결합 플라즈마 장치는 유도 코일을 포함한다. 상기 도 코일은 솔레노이드 형태로 홀수 층에 감긴 제1 유도 코일; 상기 제1 유도 코일에 교번하여 솔레노이드 형태로 짝수 층에 감긴 제2 유도 코일을 포함한다. 상기 제1 유도 코일은 일 회전 후 배치 평면을 변경하기 위해 적어도 하나의 제1 층간 연결부를 포함하고, 상기 제2 유도 코일은 일 회전 후 배치 평면을 변경하기 위하여 적어도 하나의 제2 층간 연결부를 포함한다.

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Номер записи: 7
01-02-2017 дата публикации

자속 감금부를 가지는 유도 결합 플라즈마 장치

Номер: KR0101697680B1
Автор: 엄세훈, 이윤성
Принадлежит: 인투코어테크놀로지 주식회사

... 본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 플라즈마 발생 방법을 제공한다. 이 플라즈마 장치는 원통 형상의 유전체 방전 튜브; 상기 유전체 방전 튜브를 감싸도록 배치되어 상기 유전체 방전 튜브의 내부에 플라즈마를 발생시키도록 유도 전기장을 생성하는 유도 코일; 상기 유도 코일의 주위에 배치되어 상기 유도 코일에 의하여 생성된 자기장을 감금하는 자속 감금부; 및 상기 유도 코일에 전력을 공급하는 교류 전원부를 포함한다.

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Номер записи: 8