27-09-2006 дата публикации
Номер: KR100628272B1
본 발명은 박막트랜지스터 및 컬러필터층을 동일기판에 형성하고, 게이트 패드 및 데이터 패드를 게이트 배선용 물질로 형성한 뒤 데이터 배선용 물질로 콘택하는 COT형 액정표시소자에 있어서, 1회의 회절노광 과정을 포함시켜 공정을 간소화하는 COT형 액정표시소자의 제조방법에 관한 것으로, 기판 상에 게이트 배선, 게이트 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 형성하는 단계와, 상기 게이트 배선을 포함한 전면에 게이트 절연막 및 액티브층을 차례로 증착하는 단계와, 상기 액티브층을 패터닝함과 동시에, 상기 게이트 패드 및 데이터 패드가 노출되는 콘택홀을 형성하는 단계와, 상기 게이트 배선에 수직교차하여 화소를 정의하는 데이터 배선을 형성하고, 상기 액티브층 상에 소스/드레인 전극을 형성하며, 상기 콘택홀을 통해 상기 게이트 패드 및 데이터 패드와 콘택되는 제 1 ,제 2 연결도전막을 형성하는 단계와, 층간절연막을 형성하는 단계와, 컬러필터층 및 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와, 오버코트층을 형성하는 단계와, 화소전극 및 제 1 ,제 2 투명도전막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. In the present invention, a thin film transistor and a color filter layer are formed on the same substrate, and a gate pad and a data pad are formed of a gate wiring material and then contacted with a data wiring material. A method of manufacturing a COT type liquid crystal display device that simplifies a process, the method comprising: forming a gate wiring, a gate electrode, a gate pad, and a data pad on a substrate, and then sequentially turning a gate insulating film and an active layer on the entire surface including the gate wiring; Depositing, patterning the active layer, and forming a contact hole through which the gate pad and the data pad are exposed, forming a data line defining a pixel by crossing the gate line, and defining the active line; Forming a source / drain electrode on the layer, and through the contact hole, the gate pad and Forming a first and a second connection conductive film in contact with the data pad, forming an interlayer insulating film, forming a color filter layer and a black matrix, forming an overcoat layer, a pixel electrode and a first It is characterized in that it comprises a step of forming a second transparent conductive film. 회절노광, 저마스크, COT Diffraction Exposure, Low Mask, COT
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