31-10-2018 дата публикации
Номер: DE102012104304B4
Verfahren zum Herstellen von Halbleiterchips, wobei das Verfahren umfasst: Bereitstellen eines Halbleiter-Wafers; Ausbilden einer Metallschicht auf dem Halbleiter-Wafer durch Plasmaabscheidung von bereits hergestellten Metallpartikeln auf dem Halbleiter-Wafer, wobei die Metallpartikel aus Kupfer und/oder Aluminium hergestellte Kerne und die Kerne umgebende Schalen umfassen, wobei die Schalen aus Silber, Gold, Palladium, Titan, Tantal und/oder Niob hergestellt sind; und Zersägen des Halbleiter-Wafers, wodurch die Halbleiterchips getrennt werden. A method of manufacturing semiconductor chips, the method comprising: Providing a semiconductor wafer; Forming a metal layer on the semiconductor wafer by plasma deposition of already produced metal particles on the semiconductor wafer, the metal particles comprising cores made of copper and / or aluminum and shells surrounding the cores, the shells of silver, gold, palladium, titanium, Tantalum and / or niobium are made; and Sawing the semiconductor wafer, thereby separating the semiconductor chips.
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